[发明专利]一种LED芯片生产用抛光装置在审

专利信息
申请号: 201810143328.7 申请日: 2018-02-11
公开(公告)号: CN108461424A 公开(公告)日: 2018-08-28
发明(设计)人: 戴洪杰 申请(专利权)人: 戴洪杰
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L33/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 电动推杆 外延片 吸盘 抛光装置 抽水泵 储液箱 抛光液 潜水泵 气管 喷头 二次使用 抛光 单向阀 固定板 固定架 回液管 连接板 连接管 气动泵 滑板 节约 磨盘 挡套 管盖 护罩 滑轨 减薄 气缸 铜管 延片 支架 电机 取出 回收 生产 加工
【说明书】:

发明公开了一种LED芯片生产用抛光装置,包括固定架、气缸、连接板、护罩、电机、磨盘、挡套、缺口、固定板、第一电动推杆、外延片、第一储液箱、第二储液箱、第一潜水泵、铜管、喷头、第二潜水泵、抽水泵、回液管、连接管、管盖、单向阀、支架、滑轨、滑板、吸盘、第一气管、气动泵、第二气管和第二电动推杆。本发明结构合理,通过第一电动推杆,便于对外延片进行固定,通过第二电动推杆和吸盘,为外延片的取出提供了方便,从而节约了外延片抛光和减薄的时间;通过抽水泵,可有效的对使用后的抛光液进行回收,进行二次使用,避免了抛光液的浪费,从而一定程度上节约了外延片的加工成本。

技术领域

本发明涉及一种抛光装置,具体为一种LED芯片生产用抛光装置,属于LED芯片生产加工技术领域。

背景技术

LED芯片是一种固态的半导体器件,LED的心脏是一个半导体的晶片,晶片的一端附在一个支架上,一端是负极,另一端连接电源的正极,使整个晶片被环氧树脂封装起来,LED芯片是采用外延片制造而成的。

外延片在加工成LED芯片时,需要进行抛光和减薄;在进行抛光时,可能同时对多个外延片进行抛光,外延片的取出较为不便,可能会浪费外延片的加工时间;抛光时,需要对外延片和磨盘进行添加抛光液,一般的抛光装置可能无法对抛光液进行回收利用。因此,针对上述问题提出一种LED芯片生产用抛光装置。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种LED芯片生产用抛光装置。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的,一种LED芯片生产用抛光装置,包括固定架,所述固定架顶部表面固接有气缸,且气缸输出末端固接有连接板,所述连接板固接有护罩,所述护罩顶部固接有电机,所述电机输出端通过输出轴转动连接有磨盘,所述固定架顶部表面固接有挡套和固定板,所述挡套一侧开有缺口,所述固定板表面均匀开有若干个圆孔,所述圆孔内部放置外延片,所述固定板内部嵌合安装有若干个第一电动推杆,且第一电动推杆输出末端与外延片侧边紧密贴合,所述护罩顶部固接有第一储液箱和第二储液箱,所述第一储液箱底部内壁安装有第一潜水泵,所述第一潜水泵输出端连通铜管,且铜管中部绕缠在电机表面,所述铜管末端连通喷头;

所述第二储液箱底部内壁安装有第二潜水泵和抽水泵,所述抽水泵连通回液管,且回液管贯穿护罩,所述第二潜水泵输出端连通连接管,所述连接管末端与铜管表面连通,所述固定架一侧通过支架固接有滑轨,且滑轨滑动连接有滑板,所述滑板底部固接有若干个第二电动推杆,且若干个第二电动推杆输出末端均固接有吸盘,所述连接板表面固接有气动泵,且气动泵输出端连通第一气管,所述第一气管通过第二气管与吸盘连通。

优选的,所述支架截面为L型结构,且支架数目为两个。

优选的,所述第二电动推杆与滑板垂直设置,且滑板的长度大于滑轨的长度。

优选的,所述气缸底端贯穿固定架顶部表面。

优选的,所述连接板数目为两个,且两个连接板分别固接在护罩顶部两侧。

优选的,所述磨盘位于固定板顶部,且固定板为圆形结构。

优选的,所述固定板位于挡套与固定架顶部表面形成的凹槽内部。

优选的,所述喷头镶嵌在护罩一侧,且喷头位于缺口顶部。

优选的,所述连接管与铜管连接处安装有单向阀。

优选的,所述第一储液箱和第二储液箱顶部均连通进液管,且进液管末端螺纹连接有管盖。

本发明的有益效果是:

1、该装置结构合理,设计新颖,通过第一电动推杆,便于对外延片进行固定,通过第二电动推杆和吸盘,为外延片的取出提供了方便,从而节约了外延片抛光和减薄的时间;

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