[发明专利]一种六面检的芯片检测装置在审

专利信息
申请号: 201810134550.0 申请日: 2018-02-09
公开(公告)号: CN108080293A 公开(公告)日: 2018-05-29
发明(设计)人: 谢正刚;蒙国荪;杨国运 申请(专利权)人: 桂林立德爱博半导体装备有限公司
主分类号: B07C5/342 分类号: B07C5/342
代理公司: 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 代理人: 周雯
地址: 541004 广西壮*** 国省代码: 广西;45
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摘要:
搜索关键词: 检测 六面 收料 芯片检测装置 半导体器件 取料 最大限度减少 光学检测 精度损失 静态检测 控制系统 立体检测 物料搬运 物料放置 旋转校正 圆弧运动 自动分选 自动识别 稳定度 无振动 搬运 保证
【权利要求书】:

1.一种六面检的芯片检测装置,其特征在于,包括取料部分、检测部分、控制部分和收料部分;控制部分分别与取料部分、检测部分、收料部分连接;经过检测后的物料放置于收料部分;

所述的控制部分为控制系统。

2.根据权利要求1所述的一种六面检的芯片检测装置,其特征在于,所述的取料部分,包括XY取料工作台、取料定位摄像头、取料摆臂,取料定位摄像头设在XY取料工作台的正上方;所述的XY取料工作台、取料定位摄像头、取料摆臂分别与控制部分的控制系统连接。

3.根据权利要求1所述的一种六面检的芯片检测装置,其特征在于,所述的检测部分,包括定位检测校正摄像头、2个检测摆臂、XYθ校正检测工作台、2个五面检测机构;所述的2个检测摆臂、2个五面检测机构分别对称设在XYθ校正检测工作台两侧;所述的XYθ校正检测工作台和五面检测机构分别设置在以检测摆臂的轴为圆心、以检测摆臂的臂长为半径的圆上;定位检测校正摄像头设在XYθ校正检测工作台的正上方;所述的定位检测校正摄像头、检测摆臂、XYθ校正检测工作台、五面检测机构分别与控制部分的控制系统连接。

4.根据权利要求3所述的一种六面检的芯片检测装置,其特征在于,所述的检测摆臂,摆臂末端设有吸嘴,吸住待检物料的正上方。

5.根据权利要求3所述的一种六面检的芯片检测装置,其特征在于,所述的五面检测机构,包括五面检测台和设在其内的第一检测摄像头、第二检测摄像头、第三检测摄像头、第四检测摄像头、第五检测摄像头、第一棱镜、第二棱镜、第三棱镜和第四棱镜;第一棱镜、第二棱镜、第三棱镜、第四棱镜分别设置在五面检测台内待检物料的正前方、正后方、正左侧和正右侧;第一检测摄像头设在待检物料经过第一棱镜反射后的反射光线的光路上,接收第一棱镜的反射光;第二检测摄像头设在待检物料经过第二棱镜反射后的反射光线的光路上,接收第二棱镜的反射光;第三检测摄像头设在待检物料经过第三棱镜反射后的反射光线的光路上,接收第三棱镜的反射光;第四检测摄像头设在待检物料经过第四棱镜反射后的反射光线的光路上,接收第四棱镜的反射光;第五检测摄像头五面检测台的正下方;第一检测摄像头、第二检测摄像头、第三检测摄像头、第四检测摄像头、第五检测摄像头分别与控制部分的控制系统连接。

6.根据权利要求5所述的一种六面检的芯片检测装置,其特征在于,所述的第一棱镜、第二棱镜、第三棱镜、第四棱镜,为等腰直角棱镜。

7.根据权利要求1所述的一种六面检的芯片检测装置,其特征在于,所述的收料部分,包括收料定位摄像头、XY收料工作台、收料定位摄像头设在XY收料台的上方,XY收料工作台分为正品区和次品区;所述的收料定位摄像头、XY收料工作台分别与控制部分的控制系统连接。

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