[发明专利]具有接触跨接线的集成电路有效
| 申请号: | 201810131037.6 | 申请日: | 2018-02-08 |
| 公开(公告)号: | CN108400129B | 公开(公告)日: | 2023-02-28 |
| 发明(设计)人: | 都桢湖;宋泰中;李昇映;郑钟勋 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
| 主分类号: | H01L23/528 | 分类号: | H01L23/528;H01L27/02 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李敬文 |
| 地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 具有 接触 接线 集成电路 | ||
1.一种集成电路,包括:
第一有源区和第二有源区,均沿第一方向延伸;
第一栅极线,沿基本上垂直于所述第一方向的第二方向跨过所述第一有源区和第二有源区纵向延伸;以及
第一接触跨接线,包括在第一有源区上方跨过第一栅极线的第一导电图案以及在第一栅极线上方沿第二方向纵向延伸并连接到第一导电图案的第二导电图案。
2.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述第一有源区和所述第二有源区沿所述第二方向间隔开,使得在所述第二方向上存在介于所述第一有源区与所述第二有源区之间的中间区,并且所述第二导电图案在所述第一有源区和所述第二有源区之间的中间区上方延伸,所述集成电路还包括在所述中间区上方的位置处设置在所述第二导电图案上的通孔。
3.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述第一接触跨接线还包括第三导电图案,所述第三导电图案在所述第二有源区上方跨过所述第一栅极线并连接至所述第二导电图案。
4.根据权利要求3所述的集成电路,还包括:平行于所述第一栅极线的至少一个第二栅极线,
其中所述第三导电图案跨过所述第一栅极线和所述至少一个第二栅极线。
5.根据权利要求1所述的集成电路,还包括:第二接触跨接线,在所述第二有源区上方跨过所述第一栅极线并与所述第一接触跨接线间隔开。
6.根据权利要求1所述的集成电路,还包括:
平行于所述第一栅极线的至少一个第二栅极线;以及
第二接触跨接线,在所述第二有源区上方跨过第一栅极线和至少一个第二栅极线,并与所述第一接触跨接线间隔开。
7.根据权利要求1所述的集成电路,还包括:
平行于所述第一栅极线的至少一个第二栅极线;以及
第二接触跨接线,在所述第二有源区上方跨过所述第一栅极线,并与所述第一接触跨接线间隔开;
其中所述第一导电图案跨过所述第一栅极线和所述至少一个第二栅极线。
8.根据权利要求1所述的集成电路,还包括:
所述第一有源区上的第一接触;以及
第一金属图案,在所述第一有源区上方沿所述第一方向延伸并且设置在所述第一接触上方并将所述第一接触电连接。
9.根据权利要求8所述的集成电路,还包括:
所述第二有源区上的第二接触;以及
第二金属图案,在所述第二有源区上方沿所述第一方向延伸并设置在所述第二接触上方并将所述第二接触电连接,
其中所述第二金属图案设置在所述集成电路中与所述第一金属图案相同的水平面处。
10.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述第一有源区和所述第二有源区沿所述第二方向间隔开,使得沿所述第二方向存在介于所述第一有源区与所述第二有源区之间的中间区,并且所述第二导电图案在所述第一有源区和所述第二有源区之间的中间区上方延伸,所述集成电路还包括:
平行于第一栅极线的多个第二栅极线;
在所述第一有源区和所述第二有源区之间的中间区上方的位置处设置在第二导电图案上的第一通孔;
在所述中间区中的多个第二栅极线上的第二通孔;以及
在所述第一通孔和所述第二通孔上并沿第二方向延伸的金属图案。
11.根据权利要求10所述的集成电路,其中所述第二通孔上的所述金属图案沿所述第一方向的宽度基本上相同,以及
所述第二通孔上的所述金属图案沿第二方向的长度基本上相同。
12.根据权利要求10所述的集成电路,其中所述第一通孔和所述第二通孔沿所述第一方向对准。
13.根据权利要求10所述的集成电路,其中所述第一导电图案跨过所述第二栅极线中的至少一个。
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