[发明专利]硬掩模用组合物在审
| 申请号： | 201810130570.0 | 申请日： | 2018-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN108508702A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 梁敦植;梁振锡;朴根永;崔汉永;崔相俊 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司;崔相俊 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;宋海花 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硬掩模 氢原子取代 耐蚀刻性 聚合物 平坦性 氢原子 萘二基 溶剂 苯基 萘基 自由 | ||
1.一种硬掩模用组合物，其包含含有下述化学式1的重复单元的聚合物及溶剂，
化学式1
式中，Ar1和Ar2各自独立地为苯二基或萘二基，
Ar3和Ar4各自独立地为苯基或萘基，
Ar1、Ar2、Ar3和Ar4的氢原子各自独立地可以被羟基取代，
选自由Ar1、Ar2、Ar3和Ar4组成的组中的至少两个可以将彼此的氢原子取代而连接形成环，
n为1～200的整数。
2.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述化学式1的重复单元包含选自由下述化学式1-1～1-3组成的组中的至少一种重复单元，
化学式1-1
化学式1-2
化学式1-3
式中，Ar1和Ar2各自独立地为苯二基或萘二基，
Ar3和Ar4各自独立地为苯基或萘基，
Ar1、Ar2、Ar3和Ar4的氢原子各自独立地可以被羟基取代，
选自由Ar1、Ar2、Ar3和Ar4组成的组中的至少两个可以将彼此的氢原子取代而连接形成环，
n为1～200的整数。
3.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述化学式1的重复单元包含选自由下述化学式1-2和1-3组成的组中的至少一种重复单元，
化学式1-2
化学式1-3
式中，Ar1和Ar2各自独立地为苯二基或萘二基，
Ar3和Ar4各自独立地为苯基或萘基，
Ar1、Ar2、Ar3和Ar4的氢原子各自独立地可以被羟基取代，
选自由Ar1、Ar2、Ar3和Ar4组成的组中的至少两个可以将彼此的氢原子取代而连接形成环，
n为1～200的整数。
4.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述化学式1的重复单元包含选自由下述化学式2-1～2-2组成的组中的至少一种重复单元，
化学式2-1
式中，Ar1、Ar2、Ar3和Ar4各自独立地为苯二基或萘二基，且氢原子可以被羟基取代，n为1～200的整数，
化学式2-2
式中，Ar1为苯基或萘基，
Ar2和Ar4各自独立地为苯二基或萘二基，
Ar3为苯三基或萘三基，
Ar1、Ar2、Ar3和Ar4的氢原子各自独立地可以被羟基取代，
n为1～200的整数。
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