[发明专利]半导体封装装置及制造半导体封装装置的方法有效

专利信息
申请号: 201810123992.5 申请日: 2018-02-07
公开(公告)号: CN109037199B 公开(公告)日: 2022-08-12
发明(设计)人: 黄政羚;陈盈仲 申请(专利权)人: 日月光半导体制造股份有限公司
主分类号: H01L25/16 分类号: H01L25/16
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 蕭輔寬
地址: 中国台湾高雄市楠梓*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 半导体 封装 装置 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体封装装置,其包括:

衬底,所述衬底具有第一表面及与所述第一表面相对的第二表面;

光发射器,所述光发射器是在所述衬底的所述第一表面上,且具有邻接于所述衬底的所述第一表面的发光区域;

光检测器,所述光检测器是在所述衬底的所述第一表面上,且具有邻接于所述衬底的所述第一表面的光接收区域;

透明导电薄膜,其在所述衬底的所述第二表面上;及

阻光元件,其安置于所述衬底内且穿过所述衬底,其中所述阻光元件是导电的,其中所述阻光元件电连接到所述透明导电薄膜。

2.根据权利要求1所述的半导体封装装置,其中所述透明导电薄膜包括透明导电氧化物、导电聚合物、金属栅格、碳纳米管、石墨烯、纳米线网格或超薄金属薄膜。

3.根据权利要求1所述的半导体封装装置,其中所述阻光元件安置于所述光发射器与所述光检测器之间。

4.根据权利要求3所述的半导体封装装置,其中所述衬底进一步包括导电层,其邻接于所述衬底的所述第一表面,且所述导电层经由所述阻光元件电连接到所述透明导电薄膜。

5.根据权利要求3所述的半导体封装装置,其中所述阻光元件包括石墨烯。

6.根据权利要求1所述的半导体封装装置,其进一步包括:

第一透明层,所述第一透明层是在所述光发射器与所述衬底的所述第一表面之间;

第二透明层,所述第二透明层是在所述光检测器与所述衬底的所述第一表面之间。

7.根据权利要求6所述的半导体封装装置,其中所述第一透明层及所述第二透明层是底部填充件。

8.根据权利要求6所述的半导体封装装置,其进一步包括不透光层,其位于所述衬底的所述第一表面上以覆盖所述光发射器、所述光检测器、所述第一透明层及所述第二透明层的至少一部分。

9.根据权利要求8所述的半导体封装装置,其中所述不透光层包括模制化合物。

10.根据权利要求1所述的半导体封装装置,其中所述衬底是玻璃衬底。

11.根据权利要求8所述的半导体封装装置,其中所述透明导电薄膜电连接至所述不透光层。

12.根据权利要求8所述的半导体封装装置,其进一步包括导电元件,其将在所述衬底上之导电垫电连接至所述不透光层上之导电接点。

13.根据权利要求1所述的半导体封装装置,其进一步包括导电元件,其位于光发射器与光检测器之间。

14.根据权利要求1所述的半导体封装装置,其中所述阻光元件具有宽度大于约10微米(μm)。

15.根据权利要求6所述的半导体封装装置,其中所述第一透明层覆盖光发射器的所述发光区域。

16.根据权利要求6所述的半导体封装装置,其中所述第二透明层覆盖光检测器的所述光接收区域。

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