[发明专利]显影液回收装置

说明书

本申请涉及液晶面板制造领域，一种显影液回收装置。包括储液器，所述储液器通过进水管和出水管串联于显影机的显影液循环系统中，所述储液器中设有液位传感器，所述显影液回收装置还包括除泡器，所述除泡器用于消除显影液中的气泡。本申请所述显影液回收装置，因为消除了气泡对所述液位传感器的影响，从而纠正了液位传感器的检测偏差，可以更加准确的检测当前的液位高度，保证正产的正常运行，避免因液位传感偏差而带来的宕机或者基板报废等损失。

技术领域

本申请涉及液晶面板制造领域，尤其涉及一种显影机内显影液循环系统中的显影液回收装置。

背景技术

显影机是液晶面板制造行业中必不可少的设备，涂布光阻的玻璃基板经过曝光后进入显影机，显影机将显影液均匀的撒在玻璃基板上，进而将光罩定义出的图像显现出来。基板在滚轮的带动下持续向前运动，多余的显影液顺着基板流到显影槽内，然后通过排液管道回流到显影液收集装置中回收利用。

显影液通过排液管道回流时，由于显影液在管道内会与管道产生冲击。显影液在冲击的作用下会产生很多气泡，气泡将随显影液顺管道回流到显影液收集装置中。若显影液收集装置中的气泡长时间累积，会在显影液表面上以泡沫状漂浮。漂浮的气泡容易导致收集装置中的液位传感器对当前的显影液位感应失真而引发警报，引起机台宕机。这样的情况下需要对玻璃基板重新执行光阻，或直接对基板执行报废，造成不必要的损失。

发明内容

本申请本提出一种显影液回收装置，可以准确测定显影液在收集装置中的液位高度，避免浪费或损失。本申请包括如下技术方案：

一种显影液回收装置，包括储液器，所述储液器通过进水管和出水管串联于显影机的显影液循环系统中，所述储液器中设有液位传感器，所述显影液回收装置还包括除泡器，所述除泡器用于消除显影液中的气泡。

其中，所述除泡器包括串联于所述进水管中的泡沫离心机。

其中，所述除泡器包括串联于所述进水管中的细孔过滤装置，所述细孔过滤装置用于过滤显影液中较大直径的气泡。

其中，所述细孔过滤装置位于所述泡沫离心机和所述储液器之间。

其中，所述除泡器包括装置于所述储液器上的超声波发生器，所述超声波发生器用于向所述储液器中的显影液发出超声波以消除气泡。

其中，所述超声波发生器位于所述储液器内腔的顶部，以使得所述超声波发生器发出的超声波直接作用于漂浮于显影液表面的气泡。

其中，所述除泡器包括装设于所述储液器内腔的搅拌器，所述搅拌器在所述储液器中的高度低于所述储液器的最低液位高度。

其中，所述除泡器包括减压装置，所述减压装置连通所述储液器内腔，所述减压装置用于降低所述储液器内腔的气压以消除气泡。

其中，所述液位传感器为多个，多个所述液位传感器分散于所述储液器内腔中，多个所述液位传感器共同作用以确定所述显影液的液位高度。

其中，所述显影液回收装置还设有控制单元，所述控制单元与所述液位传感器及所述除泡器电连接，所述控制单元根据所述液位传感器反馈的液位信息以控制所述除泡器的运行功率大小。

本申请所述显影液回收装置，通过将所述储液器的所述进水管和所述出水管串联于显影机的显影液循环系统中，实现了将进行过显影工作的显影液引入所述显影液回收装置进行回收处理的基础。通过所述除泡器对所述显影液回收装置中的显影液进行除泡动作，使得所述储液器内显影液中的气泡减少或消失。进而避免了气泡过多过大引得所述储液器中的所述液位传感器感应失真的现象，提高了所述液位传感器的传感精度。

附图说明

图1是本申请显影液回收装置的示意图。

具体实施方式