[发明专利]显影液回收装置在审
| 申请号： | 201810122601.8 | 申请日： | 2018-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN108319116A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 李威;陆明 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G02F1/13 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显影液回收 液位传感器 储液器 除泡器 显影液循环系统 液晶面板制造 基板报废 液位传感 出水管 进水管 显影机 显影液 检测 液位 宕机 申请 串联 纠正 保证 | ||
1.一种显影液回收装置，其特征在于，包括储液器，所述储液器通过进水管和出水管串联于显影机的显影液循环系统中，所述储液器中设有液位传感器，所述显影液回收装置还包括除泡器，所述除泡器用于消除显影液中的气泡。
2.如权利要求1所述显影液回收装置，其特征在于，所述除泡器包括串联于所述进水管中的泡沫离心机。
3.如权利要求2所述显影液回收装置，其特征在于，所述除泡器包括串联于所述进水管中的细孔过滤装置，所述细孔过滤装置用于过滤显影液中较大直径的气泡。
4.如权利要求3所述显影液回收装置，其特征在于，所述细孔过滤装置位于所述泡沫离心机和所述储液器之间。
5.如权利要求3所述显影液回收装置，特征在于，所述除泡器包括装置于所述储液器上的超声波发生器，所述超声波发生器用于向所述储液器中的显影液发出超声波以消除气泡。
6.如权利要求5所述显影液回收装置，其特征在于，所述超声波发生器位于所述储液器内腔的顶部，以使得所述超声波发生器发出的超声波直接作用于漂浮于显影液表面的气泡。
7.如权利要求2所述显影液回收装置，其特征在于，所述除泡器包括装设于所述储液器内腔的搅拌器，所述搅拌器在所述储液器中的高度低于所述储液器的最低液位高度。
8.如权利要求2所述显影液回收装置，其特征在于，所述除泡器包括减压装置，所述减压装置连通所述储液器内腔，所述减压装置用于降低所述储液器内腔的气压以消除气泡。
9.如权利要求2～8中任一项所述显影液回收装置，其特征在于，所述液位传感器为多个，多个所述液位传感器分散于所述储液器内腔中，多个所述液位传感器共同作用以确定所述显影液的液位高度。
10.如权利要求2～8中任一项所述显影液回收装置，其特征在于，所述显影液回收装置还设有控制单元，所述控制单元与所述液位传感器及所述除泡器电连接，所述控制单元根据所述液位传感器反馈的液位信息以控制所述除泡器的运行功率大小。
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