[发明专利]一种P型Cu2有效

专利信息
申请号: 201810095083.5 申请日: 2018-01-31
公开(公告)号: CN108220926B 公开(公告)日: 2020-05-29
发明(设计)人: 韩美杰;梅晓娟;刘永慧 申请(专利权)人: 上海电机学院
主分类号: C23C18/12 分类号: C23C18/12
代理公司: 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 代理人: 胡永宏
地址: 200240 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 cu base sub
【权利要求书】:

1.一种p型Cu2O纳米薄膜的化学制备方法,其特征在于,包括以下步骤:将醋酸铜加入含有乙醇胺的乙醇溶剂中配置Cu2+摩尔比为0.05~0.15mol/L的铜前驱液,所述乙醇胺和Cu2+的摩尔比为1:0.5~4;再用匀胶机将上述铜前驱液均匀旋涂于干净石英或硅衬底上,旋涂时间为20~40s,转速为3000~5000r/min,重复6~8次;然后将旋涂成膜后的薄膜在200~300℃的空气氛围中快速退火3~5min,重复6~8次;将低温退火后的薄膜在600~800℃的氮气氛围中退火20~50min,氮气流量为1.5~3L/min。

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