[发明专利]基板搬运装置、基板处理装置以及基板搬运方法

说明书

本发明涉及一种基板搬运装置、基板处理装置以及基板搬运方法，部分位置计算部基于第一检测器至第五检测器的检测信号，计算基板的第一部分至第五部分在手部上的位置。假想圆计算部根据第一部分至第四部分的位置分别计算4个假想圆，计算各假想圆的中心位置。基板位置判断部计算多个中心位置之间的多个偏移量。在多个偏移量均为阈值以下的情况下，基板位置判断部基于4个假想圆中的某假想圆或者全部假想圆，判断基板在手部上的位置。在多个偏移量中的至少一个超过阈值的情况下，基板位置判断部选择4个假想圆中的经过第五部分的位置的假想圆，基于所选择的假想圆，判断基板在手部上的位置。基于判断结果，控制基板的搬运动作。

技术领域

本发明涉及搬运基板的基板搬运装置、具有该基板搬运装置的基板处理装置以及基板搬运方法。

背景技术

为了对半导体基板、液晶显示装置用基板、等离子显示器用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板等各种基板进行各种处理，利用基板处理装置。

在这样的基板处理装置中，通常，在多个处理单元中对一张基板连续地进行处理。因此，在基板处理装置设置有用于在多个处理单元之间搬运基板的搬运机构(基板搬运装置)。

例如，日本特开2014-22589号公报所记载的基板处理装置的搬运机构，具有用于保持基板的手部。另外，在搬运机构设置有多个检测器。多个检测器分别检测手部所保持的基板的外周部的多个部分，由此检测基板在手部上的位置。在各处理单元，存储有用于表示利用手部进行的基板的接收位置和基板的载置位置的坐标信息。在手部预先设定有基准位置。若在一个处理单元中基板从规定位置偏移，则搬运机构的手部以基板的中心从手部的基准位置偏移的状态接收该基板。此时，在向其它处理单元载置基板之前，基于多个检测器的检测结果，检测基板相对于手部的基准位置的偏移。基于检测到的偏移修正坐标信息，以使在其它处理单元由手部载置的基板的中心位置与其它处理单元中的规定位置之间的偏移消除。基于修正后的坐标信息，控制搬运机构。由此，将基板载置于其它处理单元的规定位置。

发明内容

为了使基板的处理进一步高精度化，希望将基板准确地搬运至多个处理单元的规定位置。此时，需要以更高的精度检测基板相对于手部的基准位置的偏移。

但是，在基板的外周部形成有定位用的切槽。因此，在上述的基板处理装置中，当多个检测器中的一个检测器检测到切槽时，由于切槽的检测结果，使手部上的基板的位置检测精度降低。因此，无法以高精度检测基板的偏移。

本发明的目的在于，提供一种能够提高基板的搬运精度的基板搬运装置、具有该基板搬运装置的基板处理装置以及基板搬运方法。

(1)本发明的一个技术方案的基板搬运装置，用于搬运基板，具有：可动部；第一驱动部，使可动部移动；保持部，保持基板；第二驱动部，使保持部相对于可动部移动；第一检测器、第二检测器、第三检测器、第四检测器以及第五检测器，分别检测由保持部保持的基板的外周部的彼此不同的第一部分、第二部分、第三部分、第四部分以及第五部分；以及搬运控制部，在搬运基板时，控制第一驱动部和第二驱动部，搬运控制部包括：部分位置计算部，基于第一检测器、第二检测器、第三检测器、第四检测器以及第五检测器的输出信号，分别计算第一部分、第二部分、第三部分、第四部分以及第五部分在保持部上的位置；假想圆计算部，分别计算在由部分位置计算部计算出的第一部分的位置、第二部分的位置、第三部分的位置以及第四部分的位置中的彼此不同的3个部分的位置经过的4个假想圆；位置判断部，基于假想圆计算部所计算出的4个假想圆与部分位置计算部所计算出的第五部分的位置，判断保持部上的基板的位置；以及移动控制部，基于位置判断部所判断出的基板的位置，控制第一驱动部和第二驱动部。

在该基板搬运装置中，基于第一检测器至第五检测器的输出信号，分别计算保持部上的基板的第一部分至第五部分的位置。分别计算在第一部分至第四部分的位置中的彼此不同的3个部分的位置经过的4个假想圆。