[发明专利]微机电系统(MEMS)电路和用于重构干扰参量的方法有效
| 申请号: | 201810078258.1 | 申请日: | 2018-01-26 |
| 公开(公告)号: | CN108358159B | 公开(公告)日: | 2023-06-02 |
| 发明(设计)人: | N·德米勒里;D·斯特雷尤斯尼格;A·韦斯鲍尔 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号: | B81B7/00 | 分类号: | B81B7/00;B81B7/02;H04R3/06;H04R19/04;H03G3/20;H03M1/12 |
| 代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 郑立柱 |
| 地址: | 德国诺伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 微机 系统 mems 电路 用于 干扰 参量 方法 | ||
1.一种微机电系统MEMS电路,具有:
·MEMS装置,被设置成产生MEMS信号;
·控制电路,被设置成探测至少一个装置的接通或断开状态,并且至少部分地根据所述接通或断开状态来产生控制信号;
·重构滤波器,被设置成使用所产生的控制信号来确定部分地能由所述至少一个装置产生的干扰信号;以及
·减法器,被设置成从所述MEMS信号中减去所确定的干扰信号。
2.根据权利要求1所述的MEMS电路,其中所述控制电路被设置成:在探测到所述至少一个装置的接通状态时,产生所述控制信号。
3.根据权利要求1或2中任一项所述的电路,其中所述重构滤波器具有至少一个放大器;
其中,所述重构滤波器具有至少一个滤波器;
其中所述滤波器是二阶数字滤波器。
4.根据权利要求3所述的MEMS电路,其中所述重构滤波器还具有高通滤波器;
其中,所述高通滤波器是一阶数字滤波器。
5.根据权利要求3所述的MEMS电路,其中所述放大器被设置成:接收所述控制电路的所述控制信号并且产生与所述至少一个装置相匹配的放大;
其中,所述放大器被设置成产生放大,所述放大取决于所述至少一个装置的功耗。
6.根据权利要求1或2中任一项所述的MEMS电路,其中所述重构滤波器还具有数字自适应滤波器;
其中,所述数字自适应滤波器是具有有限脉冲响应的滤波器;
其中所述数字自适应滤波器是一阶递归滤波器。
7.根据权利要求1或2中任一项所述的MEMS电路,其中所述MEMS装置被设置为数字麦克风,
其中所述MEMS电路还具有:
·放大器,被设置成放大所述MEMS信号,
·模数转换器,被设置成接收所述放大器的模拟输出信号,
·数字低通滤波器,被设置成接收所述模数转换器的数字输出信号,以及
·调制器,被设置成接收所述减法器的输出信号。
8.根据权利要求1或2中任一项所述的MEMS电路,其中所述MEMS装置被设置为数字麦克风,
其中所述MEMS电路还具有:
·放大器,被设置成放大所述MEMS信号,
·模数转换器,被设置成接收所述放大器的模拟输出信号,
·数字低通滤波器,被设置成接收所述模数转换器的数字输出信号,以及
·调制器,被设置成接收所述数字低通滤波器的输出信号并且将所述数字低通滤波器的输出信号作为所述MEMS信号提供给所述减法器,
其中所述控制电路、所述重构滤波器和所述减法器设置在所述数字麦克风外部的用户侧的电子电路上。
9.根据权利要求7所述的MEMS电路,其中所述调制器的输出信号是1比特输出。
10.根据权利要求1或2中任一项所述的MEMS电路,其中所述MEMS装置被设置为模拟麦克风,
其中所述MEMS电路还具有:
·放大器,被设置成放大所述MEMS信号,
·模数转换器,被设置成接收所述放大器的模拟输出信号,并且将所述MEMS信号提供给所述减法器,
其中所述控制电路、所述重构滤波器、所述减法器和所述模数转换器设置在所述模拟麦克风的外部。
11.根据权利要求1或2中任一项所述的MEMS电路,其中所述MEMS装置被设置为数字麦克风,
其中所述MEMS电路还具有:
·放大器,被设置成放大所述MEMS信号;
·模数转换器,被设置成接收所述放大器的模拟输出信号,
·抽选滤波器,被设置成接收所述模数转换器的数字输出信号,并且将输出信号提供给所述减法器;以及
·接口,被设置成接收所述减法器的结果并且输出数字多比特信号。
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