[发明专利]探针卡装置及矩形探针

权利要求书

1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：

一第一导板，形成有多个第一贯孔；

一第二导板，形成有位置分别对应于多个第一贯孔的多个第二贯孔，并且每个所述第二贯孔的孔径小于相对应的所述第一贯孔的孔径；以及

多个矩形探针，一端分别穿出多个所述第一贯孔，另一端分别穿出多个所述第二贯孔；其中，每个所述矩形探针包含：

一金属针体，包含有一连接部、一针测部及位于所述连接部与所述针测部间的一中间段；其中，所述连接部与所述针测部分别穿出相对应的所述第一贯孔与相对应的所述第二贯孔，并且所述中间段位于所述第一导板与所述第二导板间；其中，所述中间段包含有相互平行的两个宽侧面以及相互平行的两个窄侧面；

一绝缘膜，包覆于整个所述中间段的外表面；及

一绝缘卡榫，呈环形，所述绝缘膜与所述绝缘卡榫为一体成形的构造，所述绝缘卡榫的长度等于所述绝缘膜的长度，所述绝缘卡榫围绕在整个所述绝缘膜外，所述绝缘卡榫的厚度大于所述绝缘膜的厚度且为10微米以上；所述绝缘卡榫能穿过相对应的所述第一贯孔，并且所述绝缘卡榫的底缘邻近于所述针测部与相对应的所述第二贯孔；其中，当所述绝缘卡榫正投影于所述第二导板而形成有一环形投影区域时，相对应的所述第二贯孔的边缘是落在所述环形投影区域的内边缘与外边缘间；其中，位于所述绝缘卡榫内的每个所述宽侧面部位与每个所述窄侧面部位，其与所述绝缘卡榫外表面间的最短垂直距离皆相等；其中，所述绝缘膜的一横截面与所述绝缘卡榫的一横截面各呈矩形环状，并且所述绝缘膜包含有多个外侧面，而位于所述绝缘卡榫内的所述绝缘膜的每个所述外侧面部位，其与所述绝缘卡榫外表面间的最短垂直距离皆相等。

2.根据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述矩形探针中，所述中间段包含有相互平行的两个宽侧面以及相互平行的两个窄侧面，并且两个所述宽侧面与两个所述窄侧面各呈平面状。

3.根据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述第一导板的多个所述第一贯孔分别与所述第二导板的多个所述第二贯孔彼此错位设置，并且每个所述矩形探针的所述中间段与所述绝缘膜呈弯曲状；而在相邻的两个所述矩形探针中，两个所述绝缘卡榫彼此间隔设置。

4.根据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述矩形探针中，所述绝缘卡榫顶抵于所述第二导板。

5.一种矩形探针，其特征在于，所述矩形探针包括：

一金属针体，包含有一连接部、一针测部及位于所述连接部与所述针测部间的一中间段；其中，所述中间段包含有相互平行的两个宽侧面以及相互平行的两个窄侧面；

一绝缘膜，包覆于整个所述中间段的外表面；以及

一绝缘卡榫，所述绝缘膜与所述绝缘卡榫为一体成形的构造，所述绝缘卡榫的底缘邻近于所述针测部，所述绝缘卡榫的长度等于所述绝缘膜的长度，所述绝缘卡榫围绕在整个所述绝缘膜外，并且所述绝缘卡榫的厚度大于所述绝缘膜的厚度且为10微米以上；其中，位于所述绝缘卡榫内的每个所述宽侧面部位与每个所述窄侧面部位，其与所述绝缘卡榫外表面间的最短垂直距离皆相等；其中，所述绝缘膜的一横截面与所述绝缘卡榫的一横截面各呈矩形环状，并且所述绝缘膜包含有多个外侧面，而位于所述绝缘卡榫内的所述绝缘膜的每个所述外侧面部位，其与所述绝缘卡榫外表面间的最短垂直距离皆相等。

6.根据权利要求5所述的矩形探针，其特征在于，所述中间段包含有相互平行的两个宽侧面以及相互平行的两个窄侧面，两个所述宽侧面与两个所述窄侧面各呈平面状；其中，位于所述绝缘卡榫内的每个所述宽侧面部位与每个所述窄侧面部位，其与所述绝缘卡榫外表面间的最短垂直距离皆相等。