[发明专利]非对称放大检查系统和照射模块

权利要求书

1.一种光学检查系统的照射模块，包括：

源，所述源被构造为产生沿着第一光轴传播的第一辐射束；

扫描器，所述扫描器被构造为扫描所述第一辐射束；

一对变形棱镜，所述一对变形棱镜包括第一变形棱镜和第二变形棱镜；其中所述一对变形棱镜被构造为（a）从所述扫描器接收所述第一辐射束，和（b）非对称地放大所述第一辐射束以提供沿着第二光轴传播的第二辐射束，所述第二光轴平行于所述第一光轴；

直角棱镜，所述直角棱镜被构造为从所述一对变形棱镜接收所述第二辐射束并且执行所述第二辐射束的侧向移位以提供第三辐射束，其中所述一对变形棱镜被构造为在所述第一辐射束和所述第二辐射束之间引入侧向移位，并且其中由所述直角棱镜引入的所述侧向移位被构造为补偿由所述一对变形棱镜引入的所述侧向移位；

旋转机构，所述旋转机构被构造为通过旋转所述第一变形棱镜和所述第二变形棱镜中的至少一个来改变所述一对变形棱镜的非对称放大倍率；和

望远镜，所述望远镜被构造为从所述直角棱镜接收所述第三辐射束并将所述第三辐射束提供至物镜，以用于光学地操纵所述第三辐射束以提供入射至物体上的入射辐射束，其中在光瞳面处的所述第一辐射束的扫描被中继至在所述望远镜的后焦平面上的扫描，使得所述第一辐射束的扫描被转化成所述入射辐射束的扫描。

2.根据权利要求1所述的照射模块，其中所述旋转机构包括第一旋转单元和第二旋转单元，所述第一旋转单元用于旋转所述第一变形棱镜，所述第二旋转单元用于旋转所述第二变形棱镜。

3.根据权利要求1所述的照射模块，包括中继透镜和分束光学元件。

4.一种光学检查系统，所述光学检查系统包括：

检测器；

收集光学元件；

照射模块，所述照射模块能拆卸地连接到所述检查系统的结构元件；

多个望远镜，所述多个望远镜由转塔保持，并位于所述照射模块和物体之间；

其中所述照射模块包括：

源，所述源被构造为产生沿着第一光轴传播的第一辐射束；

扫描器，所述扫描器被构造为扫描所述第一辐射束；

一对变形棱镜，所述一对变形棱镜包括第一变形棱镜和第二变形棱镜；其中所述一对变形棱镜被构造为（a）从所述扫描器接收所述第一辐射束，和（b）非对称地放大所述第一辐射束以提供沿着第二光轴传播的第二辐射束，所述第二光轴平行于所述第一光轴；

直角棱镜，所述直角棱镜被构造为从所述一对变形棱镜接收所述第二辐射束并且执行所述第二辐射束的侧向移位以提供第三辐射束；和

望远镜，所述望远镜被构造为从所述直角棱镜接收所述第三辐射束并将所述第三辐射束提供至物镜，以用于光学地操纵所述第三辐射束以提供入射辐射束，所述入射辐射束入射到物体上，其中在光瞳面处的所述第一辐射束的扫描被中继至在所述望远镜的后焦平面上的扫描，使得所述第一辐射束的扫描被转化成所述入射辐射束的扫描；并且

其中所述收集光学元件被构造为朝向所述检测器引导反射辐射束；其中所述反射辐射束因使用所述入射辐射束照射所述物体而从所述物体反射。

5.根据权利要求4所述的检查系统，其中所述照射模块包括旋转机构，所述旋转机构被构造为旋转所述第一变形棱镜和所述第二变形棱镜中的至少一个，从而改变所述一对变形棱镜的非对称放大倍率。

6.根据权利要求5所述的检查系统，其中所述旋转机构包括第一旋转单元和第二旋转单元，所述第一旋转单元用于旋转所述第一变形棱镜，所述第二旋转单元用于旋转所述第二变形棱镜。

7.根据权利要求4所述的检查系统，包括被构造为处理所述物体的图像的图像处理器；并且其中所述图像是用由所述检测器产生的检测信号构造的。

8.根据权利要求4所述的检查系统，其中所述一对变形棱镜被构造为在所述第一辐射束和所述第二辐射束之间引入一定的侧向移位；并且其中由所述直角棱镜引入的所述侧向移位经构造以补偿所述一定的侧向移位。