[发明专利]基板切割方法及阵列基板的制作方法有效

专利信息
申请号: 201810059863.4 申请日: 2018-01-22
公开(公告)号: CN108281383B 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 张星;李全虎;冯雪欢;李伟 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L21/78 分类号: H01L21/78;H01L21/77
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;张天舒
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 切割 方法 阵列 制作方法
【说明书】:

发明提供一种基板切割方法及阵列基板的制作方法,其包括:在衬底基板上形成切割线图形;使电流通过切割线,以产生电流热效应;冷却衬底基板的切割线所在表面,以使衬底基板沿切割线断开。本发明提供的基板切割方法及阵列基板的制作方法的技术方案,可以提高基板的切割效率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域,具体地,涉及一种基板切割方法及阵列基板的制作方法。

背景技术

由于日常消费电子产品的迅猛发展,电视、笔记本电脑、手机等产品都在朝着体积更薄,重量更轻,制造成本更低的方向发展。各种显示器的玻璃基板厚度也正逐渐降低。由于厚度越薄的玻璃基板对力越敏感,越容易受冲击后发生脆断,这无疑增加了切割的难度。

现有的玻璃基板切割的方法大致有两种,即,刀轮切割法和激光切割法。其中,刀轮切割法即常用的物理切割,通过传统的金刚石或硬质合金刀轮在玻璃表面产生划痕,由于应力集中,玻璃会沿着划痕方向开裂。但是,这种机械切割的精度较低,会影响切割的成品率。

激光切割法是一种应力切割方式,其利用激光扫描玻璃,玻璃因吸收激光能量,而局部急剧升温产生应力,应力变化产生裂纹从而使玻璃沿着激光扫描方向开裂。

但是,无论是刀轮切割法还是激光切割法,均需要对玻璃基板进行逐条多次切割,尤其在小尺寸的玻璃切割工艺中,这便大大降低了玻璃基板的切割效率。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提出了一种基板切割方法及阵列基板的制作方法,其可以提高基板的切割效率。

为实现本发明的目的而提供一种基板切割方法,包括:

在衬底基板上形成切割线图形;

使电流通过所述切割线,以产生电流热效应;

冷却所述衬底基板的所述切割线所在表面,以使所述衬底基板沿所述切割线断开。

优选的,在所述衬底基板上形成导电金属层的图形的同时,进行所述在衬底基板上形成切割线图形的步骤。

优选的,所述导电金属层为栅极层或者遮光金属层。

优选的,在所述使电流通过所述切割线,以产生电流热效应的步骤中,在所述切割线的两端施加恒定电压,或者向所述切割线通入恒定电流,以使电流通过所述切割线。

优选的,所述衬底基板沿所述切割线断开需要的热量满足下述公式:

Q=Cm(T1-T2)

其中,Q为所述衬底基板沿所述切割线断开需要的热量;

C为比热容;

m为所述切割线的质量,m=ρ0SL,ρ0为所述切割线的密度;S为所述切割线的横截面积;L为所述切割线的长度;

T1为所述切割线通电后的温度;

T2为所述衬底基板冷却后的温度。

优选的,所述恒定电压满足下述公式:

U2t/R=Q

其中,U为所述恒定电压;

t为电流通过所述切割线的时间;

R为所述切割线的电阻;

Q为所述衬底基板沿所述切割线断开需要的热量。

优选的,所述恒定电流满足下述公式:

I2Rt=Q

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