[发明专利]基板切割方法及阵列基板的制作方法有效
申请号: | 201810059863.4 | 申请日: | 2018-01-22 |
公开(公告)号: | CN108281383B | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 张星;李全虎;冯雪欢;李伟 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/78 | 分类号: | H01L21/78;H01L21/77 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;张天舒 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 切割 方法 阵列 制作方法 | ||
本发明提供一种基板切割方法及阵列基板的制作方法,其包括:在衬底基板上形成切割线图形;使电流通过切割线,以产生电流热效应;冷却衬底基板的切割线所在表面,以使衬底基板沿切割线断开。本发明提供的基板切割方法及阵列基板的制作方法的技术方案,可以提高基板的切割效率。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,具体地,涉及一种基板切割方法及阵列基板的制作方法。
背景技术
由于日常消费电子产品的迅猛发展,电视、笔记本电脑、手机等产品都在朝着体积更薄,重量更轻,制造成本更低的方向发展。各种显示器的玻璃基板厚度也正逐渐降低。由于厚度越薄的玻璃基板对力越敏感,越容易受冲击后发生脆断,这无疑增加了切割的难度。
现有的玻璃基板切割的方法大致有两种,即,刀轮切割法和激光切割法。其中,刀轮切割法即常用的物理切割,通过传统的金刚石或硬质合金刀轮在玻璃表面产生划痕,由于应力集中,玻璃会沿着划痕方向开裂。但是,这种机械切割的精度较低,会影响切割的成品率。
激光切割法是一种应力切割方式,其利用激光扫描玻璃,玻璃因吸收激光能量,而局部急剧升温产生应力,应力变化产生裂纹从而使玻璃沿着激光扫描方向开裂。
但是,无论是刀轮切割法还是激光切割法,均需要对玻璃基板进行逐条多次切割,尤其在小尺寸的玻璃切割工艺中,这便大大降低了玻璃基板的切割效率。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提出了一种基板切割方法及阵列基板的制作方法,其可以提高基板的切割效率。
为实现本发明的目的而提供一种基板切割方法,包括:
在衬底基板上形成切割线图形;
使电流通过所述切割线,以产生电流热效应;
冷却所述衬底基板的所述切割线所在表面,以使所述衬底基板沿所述切割线断开。
优选的,在所述衬底基板上形成导电金属层的图形的同时,进行所述在衬底基板上形成切割线图形的步骤。
优选的,所述导电金属层为栅极层或者遮光金属层。
优选的,在所述使电流通过所述切割线,以产生电流热效应的步骤中,在所述切割线的两端施加恒定电压,或者向所述切割线通入恒定电流,以使电流通过所述切割线。
优选的,所述衬底基板沿所述切割线断开需要的热量满足下述公式:
Q=Cm(T1-T2)
其中,Q为所述衬底基板沿所述切割线断开需要的热量;
C为比热容;
m为所述切割线的质量,m=ρ0SL,ρ0为所述切割线的密度;S为所述切割线的横截面积;L为所述切割线的长度;
T1为所述切割线通电后的温度;
T2为所述衬底基板冷却后的温度。
优选的,所述恒定电压满足下述公式:
U2t/R=Q
其中,U为所述恒定电压;
t为电流通过所述切割线的时间;
R为所述切割线的电阻;
Q为所述衬底基板沿所述切割线断开需要的热量。
优选的,所述恒定电流满足下述公式:
I2Rt=Q
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司,未经京东方科技集团股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810059863.4/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种显示基板的制作方法及显示基板
- 下一篇:包括邻近晶体管的集成结构
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造