[发明专利]一种改进的伪四线测试方法及其测试结构有效
申请号: | 201810050675.5 | 申请日: | 2018-01-18 |
公开(公告)号: | CN108254672B | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 王磊 | 申请(专利权)人: | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅 |
地址: | 201203 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 改进 伪四线 测试 方法 及其 结构 | ||
本发明提出一种改进的伪四线测试方法及其测试结构,所述测试方法包括下列步骤:在测试设备输入端分别接入DPS电源高位激励端和测试通道输入端;获取测试设备输出端的负载电流测试数据和建立时间数据;获取测试设备输出端的输出电压数据。本发明提出的改进的伪四线测试方法及其测试结构,解决了在同一测试流程中一次就可以测量建立时间(不带负载)和输出电压(带负载),现有技术一般通过分别两次测量(需更换硬件)或通过复杂的开关矩阵板来实现同一测试流程测试。
技术领域
本发明涉及半导体集成电路测试领域,且特别涉及一种改进的伪四线测试方法及其测试结构。
背景技术
当今集成电路产业飞速发展,集成电路种类越来越多,而数字集成电路在其中占据了很大的份额。数字集成电路功能繁多,管脚数各异,速度千差万别。数字集成电路产业的发展为我们追求的数字化生活奠定了坚实的基础,大量的芯片被生产出来,由于芯片在设计制造封装使用过程中都有可能出现故障,因而要对其进行测试。
数字集成电路测试包含功能测试、直流参数测试和交流参数测试,测试速度是测试仪最重要的指标之一。在三种测试中功能测试是基础,另外两种测试都是建立在功能测试之上的。其中直流参数测试在集成电路的设计、生产及维护中起着举足轻重的作用,尤其是在大规模生产中,直流参数测试的应用非常广泛,它往往是评价集成电路合格与否的关键。
直流参数测试通常包括直流电压和直流电流的测试。直流电压和电流测试的基本方法是施加电压测电流(FVMI)和施加电流测电压(FIMV)。施加电压测电流是在芯片的某些引脚上施加恒定电压值,然后在相应的输出引脚测试响应电流;施加电流测电压是在芯片的引脚施加恒定电流值,然后测试其输出响应的电压。
现有技术中需要测量建立时间和负载输出电压时,一般通过分别两次测量(需更换硬件)或通过复杂的开关矩阵板来实现同一测试流程测试。例如,在进行模拟IP测试(如稳压器测试)期间,我们需要测试建立时间和负载输出电压,由于测试仪器的限制,有时我们需要双倍的时间来收集测试建立时间和负载输出电压数据,或者我们需要建立复杂的开关矩阵来进行上述测试。
发明内容
本发明提出一种改进的伪四线测试方法及其测试结构,解决了在同一测试流程中一次就可以测试建立时间和测试负载输出电压的问题。
为了达到上述目的,本发明提出一种改进的伪四线测试方法,包括下列步骤:
在测试设备输入端分别接入DPS电源高位激励端和测试通道输入端;
获取测试设备输出端的负载电流测试数据和建立时间数据;
获取测试设备输出端的输出电压数据。
进一步的,所述测试设备连接有接地的低位激励端和接地的低位测量端。
进一步的,所述测试设备为稳压器。
为了达到上述目的,本发明还提出一种改进的伪四线测试结构,包括:
DPS电源高位激励端,连接于测试设备的输入端;
测试通道输入端,连接于测试设备的输入端;
负载电流测试数据和建立时间数据测试接口,连接于所述测试设备的输出端;
输出电压数据测试接口,连接于所述测试设备的输出端。
进一步的,所述测试设备连接有接地的低位激励端和接地的低位测量端。
进一步的,所述测试设备为稳压器。
本发明提出的改进的伪四线测试方法及其测试结构,解决了在同一测试流程中一次就可以测量建立时间和负载输出电压,现有技术一般通过分别两次测量(需更换硬件)或通过复杂的开关矩阵板来实现同一测试流程测试。
附图说明
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