[发明专利]多孔石英玻璃母材的制造方法

权利要求书

1.一种多孔石英玻璃母材的制造方法，其特征在于，是使玻璃微粒堆积于旋转的种棒，制造多孔石英玻璃母材的方法，所述种棒是通过对堆积所述玻璃微粒的堆积部的至少顶端部表面进行粗面化处理而成的，所述种棒的经粗面化处理的面的面粗糙度Rz为35μm以上。

2.根据权利要求1所述的多孔石英玻璃母材的制造方法，其特征在于，所述种棒是具有顶端为半球形状的半球部的圆柱状种棒，且是通过对至少所述半球部的表面进行粗面化处理而成的。

3.根据权利要求1所述的多孔石英玻璃母材的制造方法，其特征在于，所述种棒的经粗面化处理的面以1mm以下的间距具有深度为0.5mm以上且1.5mm以下的凹凸。

4.一种石英玻璃锭的制造方法，其特征在于，使用通过权利要求1～3中任一项所述的制造方法得到的多孔石英玻璃母材。

5.一种种棒，其特征在于，是权利要求1～3中任一项所述的制造方法中使用的种棒，且是通过对堆积所述玻璃微粒的堆积部的至少顶端部表面进行粗面化处理而成的，所述种棒的经粗面化处理的面的面粗糙度Rz为35μm以上。

6.一种多孔石英玻璃母材，其通过权利要求1～3中任一项所述的方法得到。

7.一种石英玻璃锭，其通过权利要求4所述的方法得到。