[发明专利]一种光刻机滤光片的中心波长优化方法

说明书

本发明公开了一种光刻机滤光片的中心波长优化方法，步骤如下：a、将所述滤光片安装在角度调节装置上；b、启动所述角度调节装置，使滤光片旋转一个角度。本发明通过改变窄带滤光片在光刻机中摆放的角度，可以改变中心波长达到6nm，只要出厂的时候，提供窄带滤光片安装在光刻机中需要偏转的角度，就可以使得中心波长大于365nm的窄带滤光片在光刻机中达到中心波长在365nm附近的效果，同时也可以使得光刻机在使用滤光片的时候获得最大的效能比。

技术领域

本发明属于集成电路制造领域，具体涉及一种光刻机滤光片的中心波长优化方法。

背景技术

I线（即波长在365nm附近的光线）光刻机，需要使用到365nm滤光片，365nm滤光片用来过滤除了365nm（比如365±3nm）之外对产品有害的其他波长的光线，并且获得尽可能高的光强从而会有较高的生产速度，

目前情况下，在光刻机中，滤光片的摆放都是按照和光线垂直的方向去摆放，光刻机的窄带滤光片加工难度非常大，往往会出现很多产品的中心波长不是正好在365nm位置，这样滤光片安装在光刻机上，就会造成光刻机无法得到最高的光强从而无法得到最快的生产速度。因此需要采用旋转窄带滤光片在光刻机中摆放的角度来得到最大的光强，但是确定滤光片的具体角度是一个非常困难的事情，往往只能大致初略估计，然后将滤光片锁定在估算的角度，但是无法得到最精确的角度。

发明内容

针对上述问题，本发明提供一种光刻机滤光片的中心波长优化方法。技术方案如下：

一种光刻机滤光片的中心波长优化方法，步骤如下：

a、将所述滤光片安装在角度调节装置上；

b、启动所述角度调节装置，使滤光片旋转一个角度。

作为本发明的进一步方案，所述角度调节装置包括：步进电机、角度调节驱动轴、安装套筒、支撑板、吸附筒、吸附橡胶皮头、滤光片、光强感应器、吸附筒紧固螺栓、活塞杆紧固螺栓、感应器紧固螺栓、活塞杆、手柄、套筒紧固螺栓、吸附活塞，所述的角度调节驱动轴的左端安装在步进电机内，安装套筒套入在角度调节驱动轴上的右端，安装套筒通过套筒紧固螺栓紧固在角度调节驱动轴上，所述的支撑板焊接在安装套筒上的右端，支撑板上加工安装孔和安装槽，所述的吸附筒插入到支撑板上的安装孔内，光强感应器插入在安装槽内，吸附筒通过吸附筒紧固螺栓紧固在安装孔内，光强感应器通过感应器紧固螺栓紧固在安装槽内，所述吸附活塞安装在吸附筒内，活塞杆安装在吸附活塞上，所述的吸附橡胶皮头安装在吸附筒的底端，滤光片吸附在吸附橡胶皮头的底端，所述的手柄焊接在活塞杆的顶端，所述的步进电机的旋转步进角度设置为0.25度，所述的安装套筒、支撑板均采用铝合金材质加工而成，所述的吸附筒是采用塑钢材质加工而成。

本发明的有益效果为：通过改变窄带滤光片在光刻机中摆放的角度，可以改变中心波长达到6nm，只要出厂的时候，提供窄带滤光片安装在光刻机中需要偏转的角度，就可以使得中心波长大于365nm的窄带滤光片在光刻机中达到中心波长在365nm附近的效果，同时也可以使得光刻机在使用滤光片的时候获得最大的效能比。

附图说明

为了易于说明，本发明由下述的具体实施及附图作以详细描述。

图1为本发明实施例的三维结构示意图；

图2为本发明实施例的支撑板结构图；

图3为本发明实施例的平面剖视图；

图4为本发明滤光片与光线垂直放置时的谱线图；

图5为本发明滤光片角度调整后的谱线图；