[发明专利]一种光刻机滤光片的中心波长优化方法

权利要求书

1.一种光刻机滤光片的中心波长优化方法，其特征在于，步骤如下：

将所述滤光片安装在角度调节装置上；

启动所述角度调节装置，使滤光片旋转一个角度。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机滤光片的中心波长优化方法，其特征在于：所述角度调节装置包括：步进电机、角度调节驱动轴、安装套筒、支撑板、吸附筒、吸附橡胶皮头、滤光片、光强感应器、吸附筒紧固螺栓、活塞杆紧固螺栓、感应器紧固螺栓、活塞杆、手柄、套筒紧固螺栓、吸附活塞，所述的角度调节驱动轴的左端安装在步进电机内，安装套筒套入在角度调节驱动轴上的右端，安装套筒通过套筒紧固螺栓紧固在角度调节驱动轴上，所述的支撑板焊接在安装套筒上的右端，支撑板上加工安装孔和安装槽，所述的吸附筒插入到支撑板上的安装孔内，光强感应器插入在安装槽内，吸附筒通过吸附筒紧固螺栓紧固在安装孔内，光强感应器通过感应器紧固螺栓紧固在安装槽内，所述吸附活塞安装在吸附筒内，活塞杆安装在吸附活塞上，所述的吸附橡胶皮头安装在吸附筒的底端，滤光片吸附在吸附橡胶皮头的底端，所述的手柄焊接在活塞杆的顶端，所述的步进电机的旋转步进角度设置为0.25度，所述的安装套筒、支撑板均采用铝合金材质加工而成，所述的吸附筒是采用塑钢材质加工而成。