[发明专利]高精度幅宽自动化测量装置

权利要求书

1.一种高精度幅宽自动化测量装置，其特征在于，包括：

机架，用于承载设置在其上的模组，所述机架上方设有测量平台，所述测量平台上供承载待测样品；

测量模组，架设在所述机架上方，用于对测量平台中的待测样品进行幅宽测量；

X轴位移模组，设置在所述机架两侧，用于驱动所述测量模组进行X轴方向位移；

控制模组，分别与所述测量模组、X轴位移模组电性连接。

2.根据权利要求1所述的高精度幅宽自动化测量装置，其特征在于，所述测量模组是在所述测量平台上方架设有测量架，所述测量架上设有Y轴运动机构，所述Y轴运动机构上设有能够在所述Y轴运动机构的驱动下进行Y轴方向位移的取像元件，所述取像元件用于对所述测量平台中的待测样品图像进行采集。

3.根据权利要求2所述的高精度幅宽自动化测量装置，其特征在于，所述Y轴运动机构设置有两个，且两个所述Y轴运动机构相接设置在所述测量架上。

4.根据权利要求3所述的高精度幅宽自动化测量装置，其特征在于，所述Y轴运动机构是在所述测量架上设有Y轴位移滑轨和Y轴位移驱动电机，所述Y轴位移滑轨上设有可沿其自由滑动的Y轴位移滑座，所述Y轴位移驱动电机与所述Y轴位移滑座相连，所述取像元件设置在所述Y轴位移滑座上。

5.根据权利要求4所述的高精度幅宽自动化测量装置，其特征在于，所述测量架与所述Y轴位移滑轨端部相对应处设有极限位置传感器，所述极限位置传感器与所述控制模组电性连接。

6.根据权利要求2或3或4或5所述的高精度幅宽自动化测量装置，其特征在于，所述取像元件是在所述Y轴位移滑座上设有工业面阵相机，所述工业面阵相机前端设有成像镜头，所述成像镜头前端设有照明光源。

7.根据权利要求6所述的高精度幅宽自动化测量装置，其特征在于，还包括图像处理元件，所述取像元件连接所述图像处理元件，所述取像元件将采集的图像传送给所述图像处理元件。

8.根据权利要求1所述的高精度幅宽自动化测量装置，其特征在于，所述机架上还设有升降模组，所述测量平台上设有与所述升降模组相适配的通槽，所述升降模组沿着所述通槽进行上下位移。

9.根据权利要求8所述的高精度幅宽自动化测量装置，其特征在于，所述升降模组包括一驱动机构以及一升降底板，所述升降底板在所述驱动机构的驱动下可相对于所述机架上下移动，所述升降底板下方设有导向机构，所述升降底板上间隔设有多个支撑柱，所述支撑柱上设有滚珠固定座，所述滚珠固定座与所述通槽形状尺寸相适配，所述滚珠固定座上设有橡胶滚珠。

10.根据权利要求8或9所述的高精度幅宽自动化测量装置，其特征在于，所述测量平台上设有可对待测样品进行定位的定位模组。