[发明专利]自动光学检测设备

说明书

本发明提供一种自动光学检测设备，由双驱移动Y轴带动检测工件平台做Y方向的运动，由单驱移动X轴带动相机组件做X方向运动，优选由滚珠丝杠结构带动相机组件做Z方向的运动，XYZ三轴的合成运动完成空间三维运动。主要用于检测金属掩膜板、太阳能丝网等表面具有细微缺陷的片材，用于填补市面上的空白。

技术领域

本发明属于半导体领域，具体涉及一种网板的自动光学检测设备。

背景技术

在金属掩膜板和太阳能丝网制作过程中，金属掩膜板和太阳能丝网上会制作有很多微小的开口，而制造工艺及环境的影响会造成在制造过程中产生具有瑕疵的开口，此类开口为可修复的缺陷，若能通过检测设备检测到缺陷并对其进行修复就可以提高产品的良率。

目前市面上用于检测网板开口瑕疵的检测设备的检测精度大都不高，很难达到检测金属掩膜板和太阳能丝网缺陷的要求，且该检测方法一直没有得到有效的进展。

发明内容

基于以上，本发明提供一种自动光学检测设备，主要用于检测金属掩膜板、太阳能丝网等表面具有细微缺陷的片材，本设备的检测可以精确到10μm及以下，用于填补市面上的空白。

其具体技术方案如下：

一种自动光学检测设备，包括承载单元、移动检测单元和控制系统，其特征在于，所述移动检测单元固定在所述承载单元上；

所述承载单元包括基台、工件台、Y轴导轨和直线电机，所述工件台用于承载片材，所述工件台活动的设置在所述Y轴导轨上并可在Y轴导轨进行Y轴方向的运动，从而将片材从初始位置匀速运至检测位置；

所述移动检测单元包括横梁和检测轴，所述检测轴用来实现片材的检测工作，所述检测轴活动的设置在所述横梁上，并在所述横梁上进行X轴方向的运动；

所述控制系统用于控制整个设备的运行过程，并对所述移动检测单元检测片材的结果进行分析处理。

进一步，所述Y轴导轨固定在所述基台上，所述直线电机位于所述Y轴导轨的一侧也固定的设置在所述基台上；所述工件台通过Y轴动板活动的设置在所述Y轴导轨和所述直线电机的上方，并可随所述Y轴动板在所述Y轴导轨上进行Y轴方向的运动，所述直线电机为所述Y轴动板的运动提供动力。

进一步，所述横梁上设置有X轴导轨、X轴电机，所述检测轴通过X轴动板活动的设置在所述X轴导轨上并可随所述X轴动板在所述X轴导轨上进行X轴方向的运动，所述X轴电机为所述X轴动板的运动提供动力；所述横梁上还设置有拖链，用于走线。

进一步，所述检测轴通过Z轴基板固定在所述X轴动板上，所述检测轴包括Z轴动板、线阵相机、面相机、线扫光源；所述Z轴动板活动的设置在所述Z轴基板上，并相对Z轴基板进行Z轴方向的运动；

所述线阵相机固定在所述Z轴动板上，所述线扫光源设置在所述线阵相机下方，所述线扫光源为所述线阵相机提供光源，所述线阵相机用来逐行检测片材上的开口，并将检测结果传送至控制系统分析；

所述面相机位于所述线阵相机的一侧也固定的设置在所述Z轴动板上，针对所述线阵相机扫描检测出来的片材上的缺陷开口部位，所述面相机可对其进行精确的二次检测。

进一步，所述基台上还设置有钣金支架和Y轴遮挡板，所述钣金支架位于所述基台的两侧面且凸出于基台，其中一侧的所述钣金支架上方固定有无杆气缸，所述无杆气缸包括活塞滑块和缸筒，另一侧的所述钣金支架上设有支撑杆，所述Y轴遮挡板一端通过连接板固定在所述无杆气缸的活塞滑块上，另一端通过滚轮在所述支撑杆上随动，所述Y轴遮挡板可随所述活塞滑块在所述缸筒上进行Y轴方向的运动，从而实现对所述Y轴遮挡板下方的所述工件台起遮挡保护作用。

进一步，所述基台的两侧面固定有横梁支架，所述横梁通过所述横梁支架固定在所述基台上。