[发明专利]自动光学检测设备在审
申请号: | 201810034636.6 | 申请日: | 2018-01-15 |
公开(公告)号: | CN108375582A | 公开(公告)日: | 2018-08-07 |
发明(设计)人: | 魏志凌;王武怀;孙杰 | 申请(专利权)人: | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动光学检测设备 相机组件 滚珠丝杠结构 金属掩膜板 合成运动 检测工件 三维运动 细微缺陷 丝网 移动 片材 三轴 优选 太阳能 填补 检测 | ||
1.一种自动光学检测设备,包括承载单元、移动检测单元和控制系统,其特征在于,所述移动检测单元固定在所述承载单元上;
所述承载单元包括基台、工件台、Y轴导轨和直线电机,所述工件台用于承载片材,所述工件台活动的设置在所述Y轴导轨上并可在Y轴导轨进行Y轴方向的运动,从而将片材从初始位置匀速运至检测位置;
所述移动检测单元包括横梁和检测轴,所述检测轴用来实现片材的检测工作,所述检测轴活动的设置在所述横梁上,并在所述横梁上进行X轴方向的运动;
所述控制系统用于控制整个设备的运行过程,并对所述移动检测单元检测片材的结果进行分析处理。
2.根据权利要求1所述的光学检测设备,其特征在于,所述Y轴导轨固定在所述基台上,所述直线电机位于所述Y轴导轨的一侧也固定的设置在所述基台上;所述工件台通过Y轴动板活动的设置在所述Y轴导轨和所述直线电机的上方,并可随所述Y轴动板在所述Y轴导轨上进行Y轴方向的运动,所述直线电机为所述Y轴动板的运动提供动力。
3.根据权利要求1所述的光学检测设备,其特征在于,所述横梁上设置有X轴导轨、X轴电机,所述检测轴通过X轴动板活动的设置在所述X轴导轨上并可随所述X轴动板在所述X轴导轨上进行X轴方向的运动,所述X轴电机为所述X轴动板的运动提供动力;所述横梁上还设置有拖链,用于走线。
4.根据权利要求3所述的光学检测设备,其特征在于,所述检测轴通过Z轴基板固定在所述X轴动板上,所述检测轴包括Z轴动板、线阵相机、面相机、线扫光源;所述Z轴动板活动的设置在所述Z轴基板上,并相对Z轴基板进行Z轴方向的运动;
所述线阵相机固定在所述Z轴动板上,所述线扫光源设置在所述线阵相机下方,所述线扫光源为所述线阵相机提供光源,所述线阵相机用来逐行检测片材上的开口,并将检测结果传送至控制系统分析;
所述面相机位于所述线阵相机的一侧也固定的设置在所述Z轴动板上,针对所述线阵相机扫描检测出来的片材上的缺陷开口部位,所述面相机可对其进行精确的二次检测。
5.根据权利要求1所述的光学检测设备,其特征在于,所述基台上还设置有钣金支架和Y轴遮挡板,所述钣金支架位于所述基台的两侧面且凸出于基台,其中一侧的所述钣金支架上方固定有无杆气缸,所述无杆气缸包括活塞滑块和缸筒,另一侧的所述钣金支架上设有支撑杆,所述Y轴遮挡板一端通过连接板固定在所述无杆气缸的活塞滑块上,另一端通过滚轮在所述支撑杆上随动,所述Y轴遮挡板可随所述活塞滑块在所述缸筒上进行Y轴方向的运动,从而实现对所述Y轴遮挡板下方的所述工件台起遮挡保护作用。
6.根据权利要求1所述的光学检测设备,其特征在于,所述基台的两侧面固定有横梁支架,所述横梁通过所述横梁支架固定在所述基台上。
7.根据权利要求1所述的光学检测设备,其特征在于,所述控制系统包括电脑组件,用于分析处理所述检测轴扫描检测片材后的数据。
8.根据权利要求1所述的光学检测设备,其特征在于,所述光学检测设备还包括外框,所述外框为金属外框,用于保护支撑所述承载单元和所述移动检测单元。
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