[发明专利]真空阀

说明书

本发明提供一种真空阀，防止密封体出其不意地移动到不期望的位置(例如，呈倾斜姿势的位置)。真空阀包括：框体，形成有穿过相向的一对开口部的气体的流路；阀体，在流路上进行插拔而对流路的开口面积进行控制；密封体，当利用阀体对流路进行封闭时推动阀体；密封体驱动部，对密封体沿气体的上游方向及下游方向进行驱动；以及机械挡块，包括将密封体的朝向气体下游方向的移动禁止在限制位置的限制突部。机械挡块选择性地可移动地配置在第一位置与第二位置中的一者上，所述第一位置是将密封体的朝向气体下游侧的移动禁止在限制位置的位置，所述第二位置是允许密封体从限制位置向气体下游侧即非限制位置移动的位置。

技术领域

本发明涉及一种真空阀。

背景技术

当在真空处理装置的真空腔室内安装涡轮分子泵等真空泵时，通常介插有真空阀。在专利文献1中揭示了这种真空阀。

专利文献1中所述的真空阀包括：阀框体，在相向的面上形成有一对开口部，中央部设置有气体流路；以及阀体，在一对开口部之间摆动而相对于开口部进行插拔。并且，真空阀在阀框体内具备包围所述一对开口部的环状的密封体。密封体抵接在被驱动至全闭的位置的阀体的周缘而将阀体按压至阀框体，由此，利用阀体将气体流路加以阻断。

专利文献1中所述的密封体是使用压缩弹簧作为将阀体按压至阀框体侧的驱动力，并使用压缩空气(压气(compressed air))作为与压缩弹簧的驱动力相向的驱动力。压气例如，因为通过由外部电源的电力驱动的压缩机(compressor)来供给等的缘故，所以停电时有时无法获得与压缩弹簧相对向的驱动力。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]美国专利第5577707号说明书。

发明内容

[发明所要解决的问题]

在专利文献1中所述的真空阀中，如果正在通过压缩空气的驱动力将密封体控制在适当位置时发生停电，在阀体不处于全闭位置的情况下，密封体会被驱动到不期望的位置，例如，有可能变为相对于开口部倾斜的姿势。

[解决问题的技术手段]

本发明的优选形态的真空阀包括：框体，形成有穿过相向的一对开口部的气体的流路；阀体，在流路上进行插拔而对流路的开口面积进行控制；密封体，当利用阀体对流路进行封闭时推动阀体；密封体驱动部，对密封体沿气体的上游方向及下游方向进行驱动；以及机械挡块(mechanicalstopper)，包括将密封体的朝向气体下游方向的移动禁止在限制位置的限制突部。机械挡块是选择性地可移动地配置在第一位置与第二位置中的一者上，所述第一位置是将密封体的朝向气体下游侧的移动禁止在限制位置的位置，所述第二位置是允许密封体从限制位置向气体下游侧即非限制位置移动的位置。

本发明所述的真空阀，其特征在于：所述密封体包括抵接于所述阀体的密封环、以及安装所述密封环的主体，所述密封体的所述非限制位置是能够从所述主体拆下所述密封环的位置。

本发明所述的真空阀，其特征在于：所述框体还包括：框体基部，形成有所述一对开口部；阀盖，可拆装地设置在所述框体基部；以及挡块操作机构，与所述阀盖的拆装联动，使所述机械挡块在所述第一位置与所述第二位置之间移动。

本发明所述的真空阀，其特征在于：所述挡块操作机构在所述阀盖被安装到所述框体上时利用所述阀盖进行推按而使所述机械挡块移动到所述第一位置，当从所述框体拆下所述阀盖时利用压缩空气的压力使所述机械挡块移动到所述第二位置。