[发明专利]真空阀

权利要求书

1.一种真空阀，其特征在于包括：

框体，形成有穿过相向的一对开口部的气体的流路；

阀体，在所述流路上进行插拔而对所述流路的开口面积进行控制；

密封体，当利用所述阀体对所述流路进行封闭时推动所述阀体；

密封体驱动部，对所述密封体沿所述气体的上游方向及下游方向进行驱动；以及

机械挡块，包括将所述密封体的朝向所述气体的下游方向的移动禁止在限制位置的限制突部；并且

所述机械挡块选择性地可移动地配置在第一位置与第二位置中的一者上，所述第一位置是将所述密封体的朝向所述气体的下游方向的移动禁止在所述限制位置的位置，所述第二位置是允许密封体从所述限制位置向所述气体的下游方向即非限制位置移动。

2.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于：

所述密封体包括抵接于所述阀体的密封环、以及安装所述密封环的主体，

所述密封体的所述非限制位置是能够从所述主体拆下所述密封环的位置。

3.根据权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于：

所述框体还包括：框体基部，形成有所述一对开口部；阀盖，可拆装地设置在所述框体基部；以及

挡块操作机构，与所述阀盖的拆装联动，使所述机械挡块在所述第一位置与所述第二位置之间移动。

4.根据权利要求3所述的真空阀，其特征在于：

所述挡块操作机构在所述阀盖被安装到所述框体上时利用所述阀盖进行推按而使所述机械挡块移动到所述第一位置，当从所述框体拆下所述阀盖时利用压缩空气的压力使所述机械挡块移动到所述第二位置。

5.根据权利要求4所述的真空阀，其特征在于：

所述密封体驱动部还包括：压缩弹簧，对所述密封体朝向所述气体的下游方向进行施力；以及受压部，利用所述压缩空气的压力抵抗所述压缩弹簧的施加力而朝向所述气体的上游方向推回所述密封体；并且

设置有通道，所述通道将使所述压缩空气作用于所述挡块操作机构的压气导入空间、与使所述压缩空气作用于所述受压部的压气导入空间连通。

6.根据权利要求5所述的真空阀，其特征在于：

所述密封体及所述机械挡块是围绕着所述流路的环体，

所述密封体包括围绕着所述流路的圆筒部以及在所述圆筒部的一端侧沿外周方向延伸的环状的凸缘部，所述凸缘部构成所述受压部，

所述机械挡块的所述限制突部设置在所述挡块操作机构的相反侧，并且与所述受压部相抵接而将所述密封体限制在所述限制位置。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的真空阀，其特征在于：

所述机械挡块设置成在与所述气体流动的方向正交的面内进行移动。