[发明专利]类金刚石膜的制备方法有效
申请号: | 201810021855.0 | 申请日: | 2018-01-10 |
公开(公告)号: | CN108103474B | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
发明(设计)人: | 孙海瑜;连崑;张敏;张慧 | 申请(专利权)人: | 苏州冠洁纳米抗菌涂料科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/02 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 李广;耿丹丹 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 天然纤维 制备 类金刚石膜 基底表面 浸入 含金属盐 金刚石膜 形状样品 纯气体 非真空 金属盐 碳蒸气 溶剂 基底 沉积 加热 升华 | ||
1.一种类金刚石膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)将金属盐溶于溶剂中,然后将天然纤维浸入其中,得到含金属盐的天然纤维;
(2)将所述天然纤维与基底在保护气氛下于290-800℃下加热,使得天然纤维分解为碳蒸气后沉积到所述基底表面,在所述基底表面形成所述类金刚石膜。
2.根据权利要求1所述的类金刚石膜的制备方法,其特征在于:在步骤(1)中,所述金属盐为硫酸铜、硝酸铜、醋酸铜、硫酸锌、硝酸锌、醋酸锌、硫酸镍和硝酸镍中的一种或几种。
3.根据权利要求1所述的类金刚石膜的制备方法,其特征在于:在步骤(1)中,所述天然纤维为纤维素植物。
4.根据权利要求1所述的类金刚石膜的制备方法,其特征在于:在步骤(1)中,所述天然纤维的质量为8-30g,溶剂中金属盐的浓度为0.5mol/L至过饱和浓度。
5.根据权利要求1所述的类金刚石膜的制备方法,其特征在于,在步骤(2)中,所述基底在使用前还包括以下处理步骤:将所述基底经化学抛光或物理抛光后清洗并烘干。
6.根据权利要求5所述的类金刚石膜的制备方法,其特征在于:在步骤(2)中,清洗基底所用的试剂为丙酮、乙醇和水中的一种或几种。
7.根据权利要求1所述的类金刚石膜的制备方法,其特征在于:在步骤(2)中,所述基底的材质为金属和/或金属氧化物。
8.根据权利要求1所述的类金刚石膜的制备方法,其特征在于:在步骤(2)中,加热时间为10-240min。
9.根据权利要求1所述的类金刚石膜的制备方法,其特征在于:在步骤(2)中,所述保护气氛为氮气、氩气和氦气中的一种或几种。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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