[发明专利]蒸镀掩膜和显示装置的制造方法

说明书

在掩膜框架(11)的框状部(11c)中，相比固定有对准片(14)的第一延伸部(11c1)和第二延伸部(11c2)，第一延伸部(11c1)和第二延伸部(11c2)之间的第三延伸部(11c3)的厚度较薄，并且第三延伸部(11c3)与对准片(14)不接触。

技术领域

本发明涉及一种蒸镀掩膜和显示装置的制造方法。

背景技术

如专利文献1所述的，在蒸镀掩膜片中，片状掩膜片以拉伸的状态固定在坚固的框状框架即掩膜框架上，所述掩膜片形成有用于对蒸镀层蒸镀的蒸镀孔的图案。

如图22所示，框状掩膜框架111具有框状部111c、包围框状部111c的外周部111b。

框状部111c是包围框架开口111a的边缘的区域，并且是用于固定被安装在掩膜框架111上的各片状部件的区域。框状部111c具有隔着框架开口111a对置的第一延伸部111c1和第二延伸部111c2、隔着框架开口111a对置的第三延伸部111c和第四延伸部111c4。

片状部件即盖片112的两端部被插入并焊接在凹槽111d内，该凹槽111d形成在第一延伸部111c1和第二延伸部111c2上。片状部件即支撑条113的两端部被插入并焊接在凹槽111e内，该凹槽111e 形成在第三延伸部111c3和第四延伸部111c4上。

第一延伸部111c1和第二延伸部111c2中到的、与凹槽111d邻接的凸部的顶面111g与第三延伸部111c3和第四延伸部111c4中的、与凹槽111e邻接的凸部的顶面111h为相同高度。

如图23所示，接着，片状部件即2个对准片114以沿框架开口 111a的两端的方式安装在框状部111c上。在每个对准片114上设有对准标记114a。

2个对准片114中、对准片114A1配置成覆盖第三延伸部111c3 的一部分，并且两端部通过激光焊接。由此，对准片114A1通过在两端部形成焊接的固定部114b，从而固定在第一延伸部111c1和第二延伸部111c2的顶面111g。

2个对准片114中、对准片114A2配置成覆盖第四延伸部111c4 的一部分，并且两端部通过激光焊接。由此，对准片114A2通过在两端部形成焊接的固定部114b，从而固定在第一延伸部111c1和第二延伸部111c2的顶面111g。

接着，片状部件即多个掩膜片115被安装在对准片114A1、 114A2之间、即框状部111c上。

在掩膜片115上设有多个有效部115a，该有效部115a排列设有多个蒸镀孔。蒸镀孔是用于在被蒸镀基板的每个像素上形成蒸镀层的通孔。掩膜片115由于需要安装在掩膜框架111中的准确位置上，因此以对准片114的对准标记114a为基准进行定位。并且，掩膜片115的两端部通过激光焊接在第一延伸部111c1和第二延伸部111c2 的顶面111g。通过将规定张数的掩膜片115固定在第一延伸部111c1 和第二延伸部111c2的顶面111g，从而完成蒸镀掩膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本公开专利公报：“特开2010-135269号”

发明内容

本发明所要解决的技术问题

为了去除在制造蒸镀掩膜时产生的异物或者去除在进行蒸镀时附着的蒸镀粒子，对蒸镀掩膜进行清洗。

其中，如图23中的区域AR101所示，对准片114A1的两端部与第一延伸部111c1和第二延伸部111c2的顶面111g接触。该区域 AR101由固定部114b固定。因此，对准片114与第一延伸部111c1 和第二延伸部111c2的顶面111g密接，异物难以侵入。