[发明专利]蒸镀掩膜和显示装置的制造方法有效
| 申请号： | 201780096263.9 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN111279012B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 田中庄介 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;G09F9/00;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 郝家欢 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩膜 显示装置 制造 方法 | ||
1.一种蒸镀掩膜，其具有设置有框架开口的掩膜框架和固定在掩膜框架上以覆盖该框架开口的多个片状部件，其特征在于，
上述掩膜框架具有将上述框架开口包围成框状的框状部，
上述框状部具有第一延伸部、第二延伸部、第三延伸部和第四延伸部，
上述第一延伸部和上述第二延伸部隔着上述框架开口排列配置，并分别沿第一方向延伸，
上述第三延伸部和上述第四延伸部隔着上述框架开口排列配置，并分别沿第二方向延伸，
上述多个片状部件包括沿上述第一方向排列设置的上述多个片状部件中、位于端部的第一片状部件，
上述第一片状部件固定在上述第一延伸部和上述第二延伸部的顶面，覆盖上述第三延伸部的至少一部分，
上述第三延伸部的厚度比上述第一延伸部和上述第二延伸部的厚度薄，并且不与上述第一片状部件接触,
上述多个片状部件包括沿上述第一方向排列设置的上述多个片状部件中、位于与上述第一片状部件相反侧的端部的第二片状部件，
上述第二片状部件固定在上述第一延伸部和上述第二延伸部的顶面，覆盖上述第四延伸部的至少一部分，
上述第四延伸部的厚度比上述第一延伸部和上述第二延伸部的厚度薄，并且不与上述第二片状部件接触。
2.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜，其特征在于，
多个片状部件包括沿上述第二方向排列设置的多个支撑条，
在上述第三延伸部和上述第四延伸部上，针对每个上述支撑条设置了用于固定上述多个支撑条的凹槽。
3.根据权利要求2所述的蒸镀掩膜，其特征在于，
沿上述第一方向排列设置的上述多个片状部件包括固定在上述第一延伸部和上述第二延伸部的上述顶面上的多个掩膜片，
上述各掩膜片具有多个有效部，该有效部排列设置有与被蒸镀基板的像素对应的多个蒸镀孔，该蒸镀基板设有排列有有助于显示的上述像素的多个有源区域，
上述有效部是针对每个上述有源区域而设置。
4.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜，其特征在于，
多个片状部件包括沿上述第二方向排列设置的多个支撑条，
在上述第三延伸部和上述第四延伸部上，跨越上述多个支撑条的设置有用于固定上述多个支撑条的凹部。
5.根据权利要求4所述的蒸镀掩膜，其特征在于，
沿上述第一方向排列设置的上述多个片状部件包括固定在上述第一延伸部和上述第二延伸部的上述顶面上的多个掩膜片，
上述各掩膜片具有有效部，该有效部排列设置有与被蒸镀基板的像素对应的多个蒸镀孔，该蒸镀基板设有排列有有助于显示的上述像素的多个有源区域，
上述有效部是以跨越上述多个有源区域的方式设置。
6.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜，其特征在于，
上述第一延伸部、上述第二延伸部、上述第三延伸部和上述第四延伸部以成为四边形的方式排列设置。
7.根据权利要求1至6中的任一项所述的蒸镀掩膜，其特征在于，
多个片状部件包括沿上述第一方向排列设置的多个盖片，
在上述第一延伸部和上述第二延伸部上，针对每个上述盖片设置了用于固定上述多个盖片的凹槽。
8.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜，其特征在于，
上述第一片状部件和上述第二片状部件分别为设有对准标记的对准片，该对准标记在将设有与被蒸镀基板的像素对应的多个蒸镀孔的掩膜片固定在上述掩膜框架上时成为基准。
9.一种显示装置的制造方法，其包括蒸镀掩膜的制造方法，上述蒸镀掩膜具有设置有框架开口的掩膜框架和固定在掩模框架上以覆盖该框架开口的多个片状部件，上述显示装置的制造方法其特征在于，
上述掩膜框架具有将上述框架开口包围成框状的框状部，
上述框状部具有第一延伸部、第二延伸部、第三延伸部和第四延伸部，
上述第一延伸部和上述第二延伸部隔着上述框架开口排列配置，并分别沿第一方向延伸，
上述第三延伸部和上述第四延伸部隔着上述框架开口排列配置，并分别沿第二方向延伸，
上述第三延伸部的厚度比上述第一延伸部和上述第二延伸部的厚度薄，
上述第四延伸部的厚度比上述第一延伸部和上述第二延伸部的厚度薄，
上述多个片状部件包括沿上述第一方向排列设置的多个片状部件，
上述蒸镀掩膜的制造方法包具有以下工序：
将沿上述第一方向排列设置的上述多个片状部件中的第一片状部件固定在上述第一方向的端部、即上述第一延伸部和上述第二延伸部的顶面，以便在覆盖上述第三延伸部的至少一部分的同时不与该第三延伸部接触的工序；
将沿上述第一方向排列设置的上述多个片状部件中的第二片状部件固定在与上述第一片状部件相反侧的端部、即上述第一延伸部和上述第二延伸部的顶面，以便在覆盖上述第四延伸部的至少一部分的同时不与该第四延伸部接触的工序；以及
以设置在上述第一片状部件和上述第二片状部件各自上的对准标记为基准，将沿上述第一方向排列设置的上述多个片状部件中的、设有与被蒸镀基板的像素对应的多个蒸镀孔的多个掩膜片，固定在上述掩膜框架上的工序，
上述显示装置的制造方法具有蒸镀工序，在蒸镀工序中，使用通过上述蒸镀掩膜的制造方法制造的上述蒸镀掩膜，在上述被蒸镀基板的上述像素上形成蒸镀层。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于夏普株式会社，未经夏普株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201780096263.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
