[发明专利]在成像叠加计量中利用叠加错位误差估计

权利要求书

1.一种计量方法，其包括：

从至少一个计量成像目标中的每一所关注区域的经分析测量计算叠加错位误差估计，及

导出目标质量矩阵，其中所述导出包括以下至少一者：

从多个计量成像目标的经计算叠加错位误差估计导出所述目标质量矩阵，且使用来自所述目标质量矩阵的值来选择目标以进行未来测量，或

从多个计量成像目标的所述经计算叠加错位误差估计导出所述目标质量矩阵，且使用来自所述目标质量矩阵的值来加权对应晶片叠加图，或

从多个计量成像目标的所述经计算叠加错位误差估计导出所述目标质量矩阵，且从所述目标质量矩阵导出过程校正，及

将所述经计算叠加错位误差估计并入在对应叠加错位估计中，

其中所述计算、所述导出及所述并入是由至少一个计算机处理器实行。

2.根据权利要求1所述的方法，其中相对于所关注区域信号的不同分量计算所述叠加错位误差估计。

3.根据权利要求1所述的方法，其中相对于每一所关注区域的多个子区域计算所述叠加错位误差估计。

4.根据权利要求3所述的方法，其进一步包括从每一所关注区域的所述子区域的所述经计算叠加错位误差估计计算额外叠加错位误差估计。

5.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括依据叠加错位计算对比度误差估计，及将经计算对比度误差并入在所述对应叠加错位估计中。

6.根据权利要求5所述的方法，其进一步包括从所述所关注区域的所述经计算叠加错位误差估计及所述对比度误差计算每一所关注区域的加权叠加错位误差估计。

7.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括从多个计量成像目标的所述经计算叠加错位误差估计导出错位图，及使所述错位图与过程图相关以识别过程误差。

8.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括由叠加测量工具使用多个计量成像目标的所述经计算叠加错位误差估计来优化所述多个目标的取样。

9.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括将所述经计算叠加错位误差估计组合到至少一个测量保真度指示符中。

10.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括基于所述经计算叠加错位误差估计而对于吞吐量可控制地权衡准确度。

11.一种非暂时性计算机可读存储媒体，所述非暂时性计算机可读存储媒体具有与其一起体现的计算机可读程序，所述计算机可读程序经配置以实行权利要求1所述的方法。

12.一种计量模块，其包括根据权利要求11所述的非暂时性计算机可读存储媒体。

13.一种成像叠加计量系统，其包括：

叠加测量工具，其经配置以测量来自晶片上的多个计量成像目标中的每一者的多个所关注区域，及

叠加错位估计模块，其经配置以从所述所关注区域的经分析测量中的不同分量计算叠加错位误差估计，及

错位模型化模块，其经配置以将从所述叠加错位估计模块接收且基于所述经计算叠加错位误差估计的目标质量矩阵并入到所述叠加测量工具的晶片叠加图中,

其中所述成像叠加计量系统经配置以将所述经计算叠加错位误差估计并入在对应叠加错位估计中。

14.根据权利要求13所述的成像叠加计量系统，其中所述叠加错位估计模块进一步经配置以相对于每一所关注区域的多个子区域计算所述叠加错位误差估计，且从每一所关注区域的所述子区域的所述经计算叠加错位误差估计计算额外叠加错位误差估计。

15.根据权利要求13所述的成像叠加计量系统，其中所述叠加错位估计模块进一步经配置以依据叠加计算对比度误差估计，且将经计算对比度误差并入在所述对应叠加错位估计中。