[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法以及有机EL显示装置的制造方法

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，具有：

掩模保持件，其对具有磁性体的蒸镀掩模进行保持；

基板保持件，其对被蒸镀基板进行保持，所述被蒸镀基板要以与由所述掩模保持件保持的所述蒸镀掩模接近的方式配置；

蒸镀源，其以与所述蒸镀掩模分离的方式设置在所述蒸镀掩模的与所述被蒸镀基板相反的面，并使蒸镀材料气化或升华；以及

磁性卡盘，其设置于被所述基板保持件保持的被蒸镀基板的与所述蒸镀掩模相反的面，并利用磁力吸引所述蒸镀掩模，

所述磁性卡盘具有永久磁铁和电磁铁。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述永久磁铁与所述电磁铁沿与所述永久磁铁的轴向垂直的方向并置，且所述永久磁铁以及所述电磁铁的与面对所述蒸镀掩模的面相反的面通过磁性板来连接。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述磁性板由软性磁性体形成。

4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述电磁铁被设置为，与所述永久磁铁的轴向同轴地产生磁场。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述电磁铁具有产生与所述永久磁铁的磁场的方向反向的磁场的控制机构。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，

分别在支承所述掩模保持件以及基板保持件的支承基板与所述掩模保持件之间以及在所述支承基板与整个基板保持件之间夹装有隔热构件。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，

还具有：内部包含所述掩模保持件、所述基板保持件、所述蒸镀源以及所述磁性卡盘的真空腔室和热管，所述热管的吸热部与所述磁性卡盘接触，所述热管的散热部被导出至所述真空腔室的外部。

8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述热管的所述吸热部的一部分被埋入于所述磁性卡盘的一部分。

9.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述热管的所述吸热部设置于所述磁性卡盘的与所述被蒸镀基板对置的面。

10.一种蒸镀方法，其特征在于，包含如下工序：

使具有磁性体的蒸镀掩模、被蒸镀基板、吸引所述蒸镀掩模的磁性卡盘重合，利用所述磁性卡盘对所述蒸镀掩模的吸引，使所述被蒸镀基板与所述蒸镀掩模接近的工序；以及

通过来自与所述蒸镀掩模分离地配置的蒸镀源的蒸镀材料的飞散，在所述被蒸镀基板上沉积所述蒸镀材料的工序，

其中，所述磁性卡盘具有永久磁铁和电磁铁，在进行所述被蒸镀基板和所述蒸镀掩模的对位时，通过所述电磁铁施加要减弱所述永久磁铁的磁场的、与所述永久磁铁的磁场的方向反向的磁场并进行所述对位，在对位后使所述电磁铁的磁场断开，由此利用所述永久磁铁吸引所述蒸镀掩模。

11.根据权利要求10所述的蒸镀方法，其特征在于，

在所述被蒸镀基板的装配或拆卸时，通过将所述电磁铁设为导通来减弱所述永久磁铁的磁场。

12.根据权利要求10或11所述的蒸镀方法，其特征在于，

在将所述电磁铁设为断开时以逐渐减少的方式断开电流。

13.一种有机EL显示装置的制造方法，其特征在于，包含如下工序：

至少在支承基板上形成TFT以及第一电极，

通过使用权利要求10至12中任一项所述的蒸镀方法在所述支承基板的表面蒸镀有机材料而形成有机层的层叠膜，

在所述层叠膜上形成第二电极。