[发明专利]半导体装置、电力转换装置及半导体装置的制造方法在审
| 申请号: | 201780092130.4 | 申请日: | 2017-06-21 |
| 公开(公告)号: | CN110753997A | 公开(公告)日: | 2020-02-04 |
| 发明(设计)人: | 市川庆太郎 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号: | H01L23/50 | 分类号: | H01L23/50;H01L23/28;H01L23/48;H01L25/07;H01L25/18 |
| 代理公司: | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 引线框 端子插入孔 模塑树脂 基座板 半导体元件 压接端子 上表面 半导体装置 表面延伸 开口部 面接合 压入 覆盖 | ||
1.一种半导体装置,其特征在于,具有:
基座板;
引线框,其具有第1面和与所述第1面相反的面即第2面,所述第2面接合于所述基座板的上表面;
半导体元件,其设置于所述引线框的所述第1面;以及
模塑树脂,其将所述基座板的上表面、所述引线框以及所述半导体元件覆盖,
在所述模塑树脂设置端子插入孔,该端子插入孔从所述模塑树脂的表面延伸至所述引线框,供压接端子插入,
在所述引线框设置与所述端子插入孔相连、供所述压接端子压入的开口部。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,
所述引线框的端部被所述模塑树脂覆盖。
3.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其特征在于,
所述端子插入孔从所述模塑树脂的与所述第1面相对的面延伸至所述第1面,
所述压接端子从所述第1面侧压入至所述开口部。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的半导体装置,其特征在于,
还具有所述压接端子,所述压接端子在两端分别设置有具有弹力的第1压入部和具有弹力的第2压入部,所述压接端子被插入至所述端子插入孔,
所述第1压入部被压入至所述开口部,
所述第2压入部设置于所述模塑树脂的外部。
5.根据权利要求4所述的半导体装置,其特征在于,
所述压接端子在所述第1压入部和所述第2压入部之间具有弯折部,
通过所述弯折部使所述第1压入部和所述第2压入部在水平方向上的位置错开,
所述弯折部设置于所述模塑树脂的外部。
6.根据权利要求5所述的半导体装置,其特征在于,
所述第2压入部在所述水平方向上与所述第1压入部相比设置于外侧。
7.根据权利要求5所述的半导体装置,其特征在于,
所述第2压入部在所述水平方向上与所述第1压入部相比设置于内侧。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的半导体装置,其特征在于,
所述半导体元件由宽带隙半导体形成。
9.根据权利要求8所述的半导体装置,其特征在于,
所述宽带隙半导体是碳化硅、氮化镓类材料或者金刚石。
10.一种电力转换装置,其具有:
主转换电路,其具有权利要求1至9中任一项所述的半导体装置,该主转换电路对被输入进来的电力进行转换而输出;以及
控制电路,其将控制所述主转换电路的控制信号输出至所述主转换电路。
11.一种半导体装置的制造方法,其特征在于,具有以下工序:
在引线框设置供压接端子压入的开口部的工序,该引线框具有第1面和与所述第1面相反的面即第2面;
在所述第1面设置半导体元件的工序;
将所述第2面与基座板的上表面接合的工序;以及
模塑工序,形成将所述基座板的上表面、所述引线框和所述半导体元件覆盖的模塑树脂,
在所述模塑工序中,在所述模塑树脂形成端子插入孔,该端子插入孔从所述模塑树脂的表面与所述开口部相连,供所述压接端子插入。
12.根据权利要求11所述的半导体装置的制造方法,其特征在于,
具有准备模具的工序,该模具在内部形成有型腔,该模具具有从所述型腔的顶部部分向所述型腔的底面延伸的销,
所述模塑工序具有以下工序:
将所述基座板、所述引线框和所述半导体元件收容于所述型腔内,将所述销插入至所述开口部;以及
在将所述销插入至所述开口部的状态下,向所述型腔注入所述模塑树脂,在所述模塑树脂形成所述端子插入孔。
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