[发明专利]半导体装置、电力转换装置及半导体装置的制造方法在审

专利信息
申请号: 201780092130.4 申请日: 2017-06-21
公开(公告)号: CN110753997A 公开(公告)日: 2020-02-04
发明(设计)人: 市川庆太郎 申请(专利权)人: 三菱电机株式会社
主分类号: H01L23/50 分类号: H01L23/50;H01L23/28;H01L23/48;H01L25/07;H01L25/18
代理公司: 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 代理人: 何立波;张天舒
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 引线框 端子插入孔 模塑树脂 基座板 半导体元件 压接端子 上表面 半导体装置 表面延伸 开口部 面接合 压入 覆盖
【权利要求书】:

1.一种半导体装置,其特征在于,具有:

基座板;

引线框,其具有第1面和与所述第1面相反的面即第2面,所述第2面接合于所述基座板的上表面;

半导体元件,其设置于所述引线框的所述第1面;以及

模塑树脂,其将所述基座板的上表面、所述引线框以及所述半导体元件覆盖,

在所述模塑树脂设置端子插入孔,该端子插入孔从所述模塑树脂的表面延伸至所述引线框,供压接端子插入,

在所述引线框设置与所述端子插入孔相连、供所述压接端子压入的开口部。

2.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,

所述引线框的端部被所述模塑树脂覆盖。

3.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其特征在于,

所述端子插入孔从所述模塑树脂的与所述第1面相对的面延伸至所述第1面,

所述压接端子从所述第1面侧压入至所述开口部。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的半导体装置,其特征在于,

还具有所述压接端子,所述压接端子在两端分别设置有具有弹力的第1压入部和具有弹力的第2压入部,所述压接端子被插入至所述端子插入孔,

所述第1压入部被压入至所述开口部,

所述第2压入部设置于所述模塑树脂的外部。

5.根据权利要求4所述的半导体装置,其特征在于,

所述压接端子在所述第1压入部和所述第2压入部之间具有弯折部,

通过所述弯折部使所述第1压入部和所述第2压入部在水平方向上的位置错开,

所述弯折部设置于所述模塑树脂的外部。

6.根据权利要求5所述的半导体装置,其特征在于,

所述第2压入部在所述水平方向上与所述第1压入部相比设置于外侧。

7.根据权利要求5所述的半导体装置,其特征在于,

所述第2压入部在所述水平方向上与所述第1压入部相比设置于内侧。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的半导体装置,其特征在于,

所述半导体元件由宽带隙半导体形成。

9.根据权利要求8所述的半导体装置,其特征在于,

所述宽带隙半导体是碳化硅、氮化镓类材料或者金刚石。

10.一种电力转换装置,其具有:

主转换电路,其具有权利要求1至9中任一项所述的半导体装置,该主转换电路对被输入进来的电力进行转换而输出;以及

控制电路,其将控制所述主转换电路的控制信号输出至所述主转换电路。

11.一种半导体装置的制造方法,其特征在于,具有以下工序:

在引线框设置供压接端子压入的开口部的工序,该引线框具有第1面和与所述第1面相反的面即第2面;

在所述第1面设置半导体元件的工序;

将所述第2面与基座板的上表面接合的工序;以及

模塑工序,形成将所述基座板的上表面、所述引线框和所述半导体元件覆盖的模塑树脂,

在所述模塑工序中,在所述模塑树脂形成端子插入孔,该端子插入孔从所述模塑树脂的表面与所述开口部相连,供所述压接端子插入。

12.根据权利要求11所述的半导体装置的制造方法,其特征在于,

具有准备模具的工序,该模具在内部形成有型腔,该模具具有从所述型腔的顶部部分向所述型腔的底面延伸的销,

所述模塑工序具有以下工序:

将所述基座板、所述引线框和所述半导体元件收容于所述型腔内,将所述销插入至所述开口部;以及

在将所述销插入至所述开口部的状态下,向所述型腔注入所述模塑树脂,在所述模塑树脂形成所述端子插入孔。

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