[发明专利]用于在基板处理中使用的方法和设备

说明书

根据本公开内容的一个方面，提供一种用于处理基板的方法，所述方法包括提供包括多个基板的基板装载堆叠布置，以第一速率从基板装载堆叠布置卸载多个基板，和以第二速率用多个基板的第一部分用来自基板装载堆叠布置的基板来填充基板缓冲器，其中第二速率小于第一速率。此外，提供一种用于处理基板的设备，所述设备包括用于布置基板装载堆叠布置的接收部；至少一个运输装置，所述运输装置用于将多个基板从基板装载堆叠布置运输到基板缓冲器；和控制器，控制器被配置成用于控制基板装载堆叠布置来以第一速率从基板装载堆叠布置卸载多个基板，并且用于控制基板缓冲器来以第二速率将多个基板的第一部分装载到基板缓冲器中，其中第二速率小于第一速率。

技术领域

本公开内容的实施方式涉及用于在基板处理中使用的方法和设备。本公开内容的实施方式具体涉及允许基板处理连续运行的方法和设备。甚至更具体地，本公开内容的实施方式允许在不中断基板处理的情况下更换基板装载堆叠布置。本公开内容的实施方式具体涉及处理太阳能电池基板。

背景技术

太阳能电池是将太阳光直接转换成电能的光生伏打(PV)装置。在该领域内，已知使用沉积技术(例如丝网印刷)在基板(诸如结晶硅基底)上生产太阳能电池，从而在太阳能电池的一个或多个表面上获得导电线图案的结构。用于生产太阳能电池的系统可以沿着用于处理基板的处理线而布置。可以在基板装载堆叠布置中提供想要处理的基板。以逐片方式将基板从基板装载堆叠布置中放出，并且由此通常地装载到处理线上以供进一步处理。

虽然放出已装填的基板装载堆叠布置可以在准连续过程中完成，更换卸空的基板装载堆叠布置导致中断到进一步处理的基板装载。迄今已提出的用于特别快速地用新的、完全填充的装载堆叠布置替换卸空的装载堆叠布置的方法被证明是未令人满意的。

鉴于以上所述，用于将基板连续装载到制造工艺的新的方法和设备将有益于克服本领域中的至少一些问题。

发明内容

鉴于以上所述，提供根据独立方法权利要求的用于处理基板的方法和根据独立设备权利要求的用于处理基板的设备。本公开内容进一步的细节、方面、可选特征和优点由从属权利要求、具体说明和图而显而易见。

根据本公开内容的一个方面，提供一种用于处理基板的方法。所述方法包括以下步骤：提供基板装载堆叠布置，所述基板装载堆叠布置包括多个基板；以第一速率从所述基板装载堆叠布置卸载所述多个基板；和以第二速率用所述多个基板的第一部分用来自所述基板装载堆叠布置的基板填充基板缓冲器。

根据本公开内容的另外的方面，提供一种用于处理基板的设备。所述设备包括：接收部，所述接收部用于布置基板装载堆叠布置；至少一个运输装置，所述运输装置用于将多个基板从所述基板装载堆叠布置运输到基板缓冲器；和控制器，所述控制器被配置成用于控制所述基板装载堆叠布置来以第一速率从所述基板装载堆叠布置卸载所述多个基板，并且用于控制所述基板缓冲器来以第二速率将所述多个基板的第一部分装载到所述基板缓冲器中，其中所述第二速率小于所述第一速率。

根据本公开内容的另一方面，提供一种用于处理基板的方法。所述方法包括以下步骤：提供基板装载堆叠布置，所述基板装载堆叠布置包括多个基板；以第一速率从所述基板装载堆叠布置卸载所述多个基板；和以第二速率用所述多个基板的第一部分用来自所述基板装载堆叠布置的基板填充基板缓冲器，其中所述第二速率小于所述第一速率。而且，根据所述方法，所述第二速率是所述第一速率的一半(即，1/2)。替代地或附加地，所述多个基板的所述第一部分是所述多个基板的一半。一旦所述基板装载堆叠布置空了，以所述第一速率从所述基板缓冲器卸载所述基板的所述第一部分。