[发明专利]用于在基板处理中使用的方法和设备

权利要求书

1.一种用于处理基板(10)的方法，所述方法包括以下步骤：

——提供基板装载堆叠布置(1)，所述基板装载堆叠布置(1)包括多个基板(10)；

——以第一速率从所述基板装载堆叠布置(1)卸载所述多个基板(10)；

——以第二速率用所述多个基板的第一部分用来自所述基板装载堆叠布置的基板填充基板缓冲器(2)；

其中所述第二速率小于所述第一速率。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述第二速率是所述第一速率的一半，并且/或者所述多个基板的所述第一部分是所述多个基板的一半。

3.如在先的任一权利要求所述的方法，进一步包括以下步骤：

——以所述第二速率从所述基板缓冲器(2)卸载所述基板的所述第一部分。

4.如权利要求3所述的方法，其中一旦所述基板装载堆叠布置(1)空了，开始从所述基板缓冲器(2)卸载所述多个基板的所述第一部分。

5.如在先的任一权利要求所述的方法，进一步包括以下步骤：

——将所述基板装载堆叠布置(1)用装满基板的新基板装载堆叠布置(1)进行更换。

6.如在先的任一权利要求所述的方法，其中

所述第一速率大于每秒0.4个基板并且/或者小于每秒2.0个基板；并且/或者

所述第二速率大于每秒0.2个基板并且/或者小于每秒1.0个基板。

7.如在先的任一权利要求所述的方法，进一步包括以下步骤：

——使用以第一运输速度操作的第一运输装置(3)将从所述基板装载堆叠布置(1)卸载的所述多个基板(10)运输到所述基板缓冲器(2)；

并且进一步优选地包括以下步骤：

——将来自所述第一运输装置(3)的所述多个基板的所述第一部分和/或所述多个基板的第二部分传递到第二运输装置(4)，所述第二运输装置(4)被操作用于将所述基板从低运输速度加速至高运输速度。

8.如权利要求7所述的方法，进一步包括以下步骤：

——将来自所述第二运输装置(4)的所述多个基板的所述第一部分和/或所述多个基板的所述第二部分传递到以第三运输速度操作的第三运输装置(5)，其中所述第三运输速度大于所述第一运输速度。

9.如权利要求7或8所述的方法，所述方法进一步包括在一个或多个处理站中处理所述基板，其中优选地所述第三运输装置的所述第三运输速度对应于所述一个或多个处理站的处理速度。

10.一种用于处理基板(10)的设备，所述设备包括：

——接收部(11)，所述接收部(11)用于布置基板装载堆叠布置(1)；

——至少一个运输装置(3、4、5)，所述运输装置(3、4、5)用于将多个基板从所述基板装载堆叠布置(1)运输到基板缓冲器(2)；

——控制器，所述控制器被配置成用于控制所述基板装载堆叠布置来以第一速率从所述基板装载堆叠布置卸载所述多个基板，并且用于控制所述基板缓冲器来以第二速率将所述多个基板的第一部分装载到所述基板缓冲器中，

其中所述第二速率小于所述第一速率。

11.如权利要求10所述的设备，其中所述第二速率是所述第一速率的一半，并且/或者所述多个基板的所述第一部分是所述多个基板的一半。