[发明专利]等离子体产生系统

说明书

本发明提供能够更准确地计测出向被处理体照射的等离子体气体的实际温度的等离子体产生系统。等离子体产生系统具备：照射头，向设于反应室的电极供给电力而产生使处理气体等离子体化的等离子体气体，并将产生的等离子体气体向被处理体照射；及温度传感器，检测等离子体气体的温度，并输出与检测出的温度对应的检测信号。温度传感器配置在从照射头的照射等离子体气体的照射口离开的位置，并由照射头照射等离子体气体。照射头构成为能够在被处理体与温度传感器之间移动。

技术领域

本发明涉及使处理气体等离子体化而产生等离子体气体的等离子体产生系统。

背景技术

在等离子体产生系统中，例如向反应室供给处理气体，向配置于反应室的多个电极供给电力。由此，在反应室中，产生放电，将处理气体等离子体化，从而产生等离子体气体。下述专利文献中，作为这种等离子体产生系统的一个例子，记载有使用微波产生等离子体气体的系统。

在专利文献1所公开的等离子体产生系统中，向呈同心状地配置的内侧电极和外侧电极之间产生辉光放电而产生等离子体，并向它们之间供给处理气体，从而从环状的排出口照射等离子体气体。在照射等离子体气体的喷嘴的前端，安装有将环状的排出口转换为长条状的排出口的接头。在转换接头的长度方向上的侧面设有温度传感器。并且，等离子体产生系统基于温度传感器的检测结果，调整向喷嘴供给的气体供给量和导波管的长度。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2008-59838号公报

发明内容

发明所要解决的课题

等离子体气体根据使用等离子体产生系统的环境等而温度产生变化。因此，向被处理体照射的等离子体气体在从喷嘴至到达被处理体的期间温度产生变化。因此，本发明的课题在于提供能够更准确地计测出向被处理体照射的等离子体气体的实际温度的等离子体产生系统。

用于解决课题的技术方案

本申请公开一种等离子体产生系统，具备：照射头，向设于反应室的电极供给电力而产生使处理气体等离子体化的等离子体气体，并将所产生的上述等离子体气体向被处理体照射；及温度传感器，检测上述等离子体气体的温度，并输出与检测出的温度对应的检测信号，上述温度传感器配置在从上述照射头的照射上述等离子体气体的照射口离开的位置，并由上述照射头照射上述等离子体气体，上述照射头构成为能够在上述被处理体与上述温度传感器之间移动。

发明效果

根据本申请公开的技术，即便在根据使用等离子体产生系统的环境而室温等产生变化的情况下，也能够更准确地计测出向被处理体照射的等离子体气体的实际温度。

附图说明

图1是表示等离子体产生系统的俯视图。

图2是从斜上方观察的视点下的照射头的立体图。

图3是从斜下方观察的视点下的照射头的下部的立体图。

图4是照射头的主要部分的剖视图。

图5是等离子体产生系统的框图。

具体实施方式

以下，参照图1～图5来对本申请的等离子体产生系统的实施方式详细地进行说明。

(A)等离子体产生系统10

图1示出本实施方式的等离子体产生系统10的俯视图。本实施方式的等离子体产生系统10是将在大气压下产生的等离子体向被处理体36照射的系统。另外，在以下说明中，如图1所示，将输送被处理体36的方向称为X方向，将与该X方向垂直的水平方向称为Y方向来进行说明。