[发明专利]配管系统的导热覆盖体和加热装置及其制造方法和安装方法

说明书

本发明提供一种能够提高安装、拆卸的操作性的导热覆盖体。导热覆盖体(10)具有形成有连结孔(11c)的第一导热部件(11)和形成有连结孔(12c)的第二导热部件(12)。而且，导热覆盖体(10)具有连结部件(13)，该连结部件(13)具有插入连结孔(11c)的第一插入部(13a)和插入连结孔(12c)的第二插入部(13b)。插入部(13a、13b)中的至少一方能够在相对于连结部件(13)的插入方向正交的方向上弹性变形。

技术领域

本发明涉及覆盖由配管、与配管连接的阀等构成的配管系统的导热覆盖体、以及加热配管系统的加热装置。

背景技术

在具备供气体、液体等流体流动的配管的装置(例如半导体的制造装置) 中，为了将流体保持为高温，有时在配管的外侧安装加热器。在利用直径较小的配管的情况下，由于加热器没有紧贴在配管的外侧，因此，配管的一部分的温度变低，存在配管整体的温度不能均匀化的情况。为了防止该情况，以往，有时通过由铝等导热率较高的材料形成的块来覆盖配管的外侧，并通过加热器覆盖块的外侧的情况(例如，下述专利文献1，在此将该块称为“覆盖块”)。覆盖块为圆筒状，在其内侧配置有配管。根据该构造，能够比较容易地使加热器紧贴于覆盖块，因此容易使配管整体的温度均匀化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-2986号公报

发明内容

发明要解决的课题

覆盖块由分别具有圆筒的一半的形状的两个部件构成(在此，将该部件称为“块半体”)。这两个块半体结合而构成圆筒状的覆盖块。在两个块半体的结合中，使用了包围覆盖块的外侧的环、螺钉等固定工具。但是，在利用这样的固定工具的构造中，包覆块的安装、拆卸的操作性不好。

本发明的一个目的在于提供能够提高安装、拆卸的操作性的导热覆盖体、加热装置、导热覆盖体的制造方法及其安装方法、以及加热装置的制造方法及其安装方法。

用于解决课题的手段

用于解决所述课题的导热覆盖体具有：第一导热部件，用于覆盖配管系统，由金属形成，具有形成有第一孔的第一面；第二导热部件，用于与所述第一导热部件结合而覆盖所述配管系统，由金属形成，具有与第一面相面对且形成有第二孔的第二面；以及连结部件，具有插入到所述第一孔的第一插入部和插入到所述第二孔的第二插入部，使所述第一导热部件和所述第二导热部件结合。所述第一插入部和所述第二插入部中的至少一个插入部能够在与所述连结部件的插入方向正交的方向上弹性变形。根据该导热覆盖体，能够提高导热部件的安装、拆卸的操作性。

用于解决所述课题的加热装置具有：所述导热覆盖体；以及覆盖所述导热覆盖体且通过所述导热覆盖体来加热所述配管系统的加热器。根据该加热装置，能够提高导热部件的安装、拆卸的操作性。

用于解决所述问题的导热覆盖体的制造方法及其安装方法如下所述。这些方法所涉及的导热覆盖体具备：第一导热部件，用于覆盖配管系统，由金属形成，具有形成有第一孔的第一面；第二导热部件，用于与所述第一导热部件结合而覆盖所述配管系统，由金属形成，具有与第一面相面对且形成有第二孔的第二面；以及连结部件，具有插入到所述第一孔的第一插入部和插入到所述第二孔的第二插入部。

所述导热覆盖体的制造方法具有如下工序：将所述第一插入部插入所述第一孔，由此以能够在相对于所述第一插入部的插入方向正交的方向上弹性变形的第二插入部从所述第一面突出的方式，将所述连结部件安装于所述第一导热部件。

所述导热覆盖体的安装方法具有如下工序：在所述第一插入部插入所述第一孔，以能够在相对于所述第一插入部的插入方向正交的方向上弹性变形的所述第二插入部从所述第一面突出的方式将所述连结部件安装于所述第一导热部件的状态下，为了使所述第一导热部件和所述第二导热部件以覆盖所述配管系的方式结合，而将所述第二插入部插入所述第二导热部件的所述第二孔。