[发明专利]使用经预测的计量图像的计量配方产生

说明书

一种计量系统包含通信地耦合到计量工具的控制器。所述控制器可：产生样本的三维模型；基于所述三维模型产生对应于运用所述计量工具对所述样本进行的经预测分析的经预测的计量图像；评估用于从所述一或多个经预测的计量图像提取计量测量的两个或两个以上候选计量配方；基于一或多个选择计量从用于从来自所述计量工具的结构的图像提取计量测量的所述两个或两个以上候选计量配方选择计量配方；基于经制造结构的计量测量从所述计量工具接收所述经制造结构的输出计量图像；及基于所述计量配方从所述输出计量图像提取与所述经制造结构相关联的所述计量测量。

相关申请案的交叉参考

本申请案根据35 U.S.C.§ 119(e)规定主张指定方超(Chao Fang)、马克D.史密斯(Mark D.Smith)及布莱恩·达菲(Brian Duffy)为发明者的2016年12月19日申请的标题为从模拟/产生图像设置计量及检验配方(SETTING UP METROLOGY AND INSPECTION RECIPESFROM SIMULATED/GENERATED IMAGES)的第62/435,977号美国临时申请案号的权利，所述申请案的全文以引用的方式并入本文中。

技术领域

本申请案大体上涉及计量，且更特定来说，涉及计量配方的产生。

背景技术

计量系统通常利用计量配方来执行样本的计量。例如，基于图像的计量系统的计量配方可包含(但不限于)：使用计量工具产生具有选定参数的样本的图像；及对所述所得图像执行一或多个图像分析步骤以提取所要计量测量。计量系统的关键性能指标(例如测量准确度、对样本及/或环境偏差的敏感度或类似者)可关键地取决于用于产生测量的计量配方。然而，针对高度敏感应用(例如半导体制造)选择计量配方通常是耗时及高成本过程，其需要使用昂贵设备进行多次实验。因此，将期望提供一种解决例如上文所识别的缺点的系统及方法。

发明内容

根据本发明的一或多个说明性实施例揭示一种计量系统。在一个说明性实施例中，所述系统包含通信地耦合到计量工具的控制器。在另一说明性实施例中，所述控制器产生包含待通过所述计量工具分析的结构的一或多个例子的样本的三维模型。在另一说明性实施例中，所述控制器基于所述三维模型产生对应于运用所述计量工具对所述样本进行的经预测分析的经预测的计量图像。在另一说明性实施例中，所述控制器评估用于从所述一或多个经预测的计量图像提取计量测量的两个或两个以上候选计量配方。在另一说明性实施例中，所述控制器基于一或多个选择指标从用于从来自所述计量工具的结构的图像提取计量测量的所述两个或两个以上候选计量配方选择计量配方。在另一说明性实施例中，所述控制器基于经制造结构的计量测量从所述计量工具接收所述经制造结构的输出计量图像。在另一说明性实施例中，所述控制器基于所述计量配方从所述输出计量图像提取与所述经制造结构相关联的所述计量测量。

根据本发明的一或多个说明性实施例揭示一种计量系统。在一个说明性实施例中，所述系统包含计量工具。在另一说明性实施例中，所述系统包含通信地耦合到所述计量工具的控制器。在另一说明性实施例中，所述控制器产生包含待通过所述计量工具分析的结构的一或多个例子的样本的三维模型。在另一说明性实施例中，所述控制器基于所述三维模型产生对应于运用所述计量工具对所述样本进行的经预测分析的经预测的计量图像。在另一说明性实施例中，所述控制器评估用于从所述一或多个经预测的计量图像提取计量测量的两个或两个以上候选计量配方。在另一说明性实施例中，所述控制器基于一或多个选择指标从用于从来自所述计量工具的结构的图像提取计量测量的所述两个或两个以上候选计量配方选择计量配方。在另一说明性实施例中，所述控制器基于经制造结构的计量测量从所述计量工具接收所述经制造结构的输出计量图像。在另一说明性实施例中，所述控制器基于所述计量配方从所述输出计量图像提取与所述经制造结构相关联的所述计量测量。