[发明专利]使用经预测的计量图像的计量配方产生

权利要求书

1.一种计量系统，其包括：

控制器，其包含经配置以执行指令的一或多个处理器，所述指令经配置以引起所述一或多个处理器：

产生包含待通过计量工具分析的结构的一或多个例子的样本的三维模型；

基于所述三维模型产生对应于运用所述计量工具对所述样本进行的经预测分析的一或多个经预测的计量图像，其中所述经预测的计量图像包含与基于运用所述计量工具对所述样本进行的所述经预测分析的所述三维模型的二维投影的经预测偏差；

评估用于从所述一或多个经预测的计量图像提取计量测量的两个或两个以上候选计量配方；

基于一或多个选择指标从用于从来自所述计量工具的结构的图像提取计量测量的所述两个或两个以上候选计量配方选择计量配方；

基于经制造结构的计量测量从所述计量工具接收所述经制造结构的输出计量图像；及

基于所述计量配方从所述输出计量图像提取与所述经制造结构相关联的所述计量测量。

2.根据权利要求1所述的计量系统，其中所述一或多个选择指标包括：

从所述一或多个经预测的计量图像的所提取计量测量的准确度。

3.根据权利要求1所述的计量系统，其中所述一或多个选择指标包括：

经提取的所述计量测量对所述一或多个经预测的计量图像中的噪声的稳健性。

4.根据权利要求3所述的计量系统，其中经提取的计量测量对噪声的所述稳健性包括：

来自所述一或多个经预测的计量图像的经提取的计量测量的变异。

5.根据权利要求1所述的计量系统，其中所述一或多个经预测的计量图像包含所述结构的两个或两个以上例子，其中系统地改变所述结构的属性以表示制造工艺中的偏差。

6.根据权利要求5所述的计量系统，其中所述一或多个选择指标包括：

经提取的计量测量对所述制造工艺中的所述偏差的稳健性。

7.根据权利要求5的计量系统，其中从所述两个或两个以上候选计量配方选择计量配方包括：

基于对所述一或多个经预测的计量图像的经提取的计量测量的准确度及经提取的计量测量对所述制造工艺中的所述偏差的稳健性的多变量分析从所述两个或两个以上候选计量配方选择所述计量配方。

8.根据权利要求7所述的计量系统，其中所述多变量分析包括：

回归分析。

9.根据权利要求1所述的计量系统，其中产生所述经预测的计量图像包括：

基于所述三维模型模拟通过所述计量工具对所述样本进行的计量测量。

10.根据权利要求9所述的计量系统，其中基于所述三维模型模拟通过所述计量工具对所述样本进行的所述计量测量包括：

使用启发式模拟模型基于所述三维模型模拟通过所述计量工具对所述样本进行的计量测量。

11.根据权利要求1所述的计量系统，其中产生所述经预测的计量图像包括：

基于所述三维模型仿真通过所述计量工具对所述样本进行的计量测量。

12.根据权利要求1所述的计量系统，其中产生所述经预测的计量图像包括：

基于深度生成建模产生所述经预测的计量图像。

13.根据权利要求12所述的计量系统，其中基于深度生成建模以产生所述经预测的计量图像包括：

运用一组训练图像训练深度生成模型；及

运用所述结构的所述三维模型作为输入基于所述深度生成模型产生所述经预测的计量图像。

14.根据权利要求13所述的计量系统，其中所述组训练图像包括：

通过所述计量工具基于物理样本的计量测量产生的图像或通过基于经建模的样本模拟所述计量工具的所述输出而产生的图像中的至少一者。