[发明专利]与散射测量术测量中的光栅非对称相关的不精确性的减轻

说明书

本发明提供散射测量术叠加目标以及目标设计及测量方法，其减轻基于衍射的叠加测量中的光栅非对称的效应。目标包括具有取代解析粗节距光栅的亚解析结构的额外单元，且/或包括具有粗节距周期性的交替亚解析结构，以隔离并移除由于光栅非对称所导致的不精确性。测量方法利用正交偏光照明，以相对于设计的目标结构，隔离不同测量方向上的所述光栅非对称效应。

相关申请案的交叉参考

本申请案要求2017年2月10日申请的第62/457,787号美国临时专利申请案的权益，所述案以全文引用的方式并入本文中。

技术领域

本发明涉及计量领域，且更具体来说，本发明涉及散射测量术叠加目标及其测量方法。

背景技术

当前基于衍射的叠加(DBO)标记或目标由具有两个光栅的单元构成，每一层中具有一个光栅，所述光栅应对准。来自这些单元的衍射信号用于计算两个层之间的位移(叠加)。使用前述单元中的测量非对称来估计一个光栅相对于另一光栅的位移。

发明内容

以下内容是提供对本发明的初始理解的简化概要。概要不一定识别要素或限制本发明的范围，而仅充当对以下描述的介绍。

本发明的一个方面提供散射测量术叠加(SCOL)目标，其沿着至少一个测量方向包括：两个单元，其具有至少在两个晶片层处的具指定粗节距的周期性结构，其中所述两个单元在相应层中具有顶部周期性结构相对于底部周期性结构的相反偏移；及两个单元，其各自具有在两个层的不同者处的具指定粗节距的周期性结构及在两个层的另一者处的亚解析周期性结构。

在以下详细描述中陈述本发明的这些、额外及/或其它方面及/或优势；可能可从详细描述推论；及/或可通过实践本发明而获悉。

附图说明

为了更好地理解本发明的实施例且展示可如何实行本发明的实施例，现将仅通过实例参考随附图式，其中相似符号贯穿本文指定对应元件或区段。

在随附图式中：

图1是根据本发明的一些实施例的具有光栅非对称的散射测量术目标的高级示意性说明，其呈现目标的两个单元的区段。

图2A是根据本发明的一些实施例的计量目标、其从现有技术目标的衍生及测量配置的高级示意性说明。

图2B是根据本发明的一些实施例的计量目标中的额外的一对单元的高级示意性说明。

图3是根据本发明的一些实施例的计量目标的高级示意性说明。

图4是根据本发明的一些实施例的计量测量设置的高级示意性说明。

图5是说明根据本发明的一些实施例的方法的高级流程图。

具体实施方式

在以下描述中，描述本发明的各个方面。出于解释的目的，陈述特定配置及细节以便提供对本发明的透彻理解。然而，所属领域的技术人员还将明白，可在本文中未呈现的特定细节的情况下实践本发明。此外，可能已省略或简化众所周知特征以免混淆本发明。特定参考图式，应强调，展示的细节是通过实例且仅出于本发明的说明性论述的目的，且为了提供认为是本发明的原理及概念方面的最有用及容易理解描述的内容而呈现。在此点上，未尝试比对于本发明的基本理解所必需更详细地展示本发明的结构细节，结合图式获取的描述使所属领域的技术人员明白实践上可如何体现本发明的若干形式。

在详细解释本发明的至少一个实施例之前，应理解，本发明在其应用中不限于以下描述中陈述或图式中说明的组件的构造及布置的细节。本发明适用于可以各种方式实践或实行的其它实施例以及所揭示实施例的组合。而且，应理解，本文中采用的措辞及术语用于描述的目的且不应视为限制性的。