[发明专利]OLED面板的制造方法和OLED面板的制造装置

说明书

本发明的OLED面板的制造方法包括：在支承基板(50)的上侧，将树脂层(12)、平均应力(Px)为零或为拉伸应力的无机层(3)、TFT层(4)、OLED元件层(5)和密封层(6)依次层叠而形成层叠体(7)的工序；和将支承基板(50)从层叠体(7)分离的工序。

技术领域

本发明涉及OLED面板的制造方法。

背景技术

在柔性的OLED(有机发光二极管)面板的制造工序中，例如，在玻璃基板等支承基板的上侧形成由塑料层、底涂层、TFT层、发光元件层、密封层、覆盖基板等构成的层叠体，然后从玻璃基板的下表面侧向上述层叠体照射激光等，将支承基板剥离(参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-194642号公报(2015年11月5日公开)

发明内容

发明要解决的技术问题

通常，在底涂层和TFT层会产生压缩应力，因此，存在如下问题：当将支承基板剥离(即，释放压缩应力)时，这些层会伸长而导致层叠体产生翘曲(卷曲)或褶皱，对其后的工序带来不良影响。

用于解决技术问题的手段

进行：在支承基板的上侧，将树脂层、平均应力为零或为拉伸应力的无机层、TFT层、OLED元件层和密封层依次层叠而形成层叠体的工序；和将上述支承基板从上述层叠体分离的工序。

发明效果

通过形成平均应力为零或为拉伸应力的无机层，能够使上述层叠体的平均应力接近零，能够抑制将层叠体从支承基板分离时产生的翘曲和褶皱。

附图说明

图1是本实施方式的OLED面板的平面图。

图2是图1的a-a截面图。

图3是图1的b-b截面图。

图4是表示OLED面板的制造方法的示意图。

图5是表示无机层的形成例的示意图。

图6是表示无机层的另外的形成例的示意图。

图7是表示非显示部的形成例的示意图。

图8是表示OLED面板的另一个制造工序的截面图。

具体实施方式

下面，基于图1～图6，对本发明的实施方式进行说明。但是，这些实施方式只不过是例示。

图1是本实施方式的OLED面板的平面图，图2是图1的a-a截面图，图3是图1的b-b截面图。

如图1～图3所示，OLED面板2具有挠性，包括：下表面膜10；粘接层12；树脂层12；在树脂层12的上侧形成的无机层3；在无机层3的上侧形成的半导体膜15；在半导体膜15的上侧形成的栅极绝缘膜16；在栅极绝缘膜16的上侧形成的栅极电极G；在栅极电极G的上侧形成的第一层间绝缘膜18；在第一层间绝缘膜18的上侧形成的第二层间绝缘膜20；在第二层间绝缘膜20的上侧形成的源极电极S、漏极电极D和端子T；在源极电极S和漏极电极D的上侧形成的平坦化膜21；在平坦化膜21的上侧形成的阳极电极22；规定显示区域DC的子像素的分隔壁23c；形成在非显示区域NA的堤(bank)23b；在阳极电极22的上侧形成的有机EL(有机电致发光)层24；在有机EL层24的上侧形成的阴极电极25；覆盖分隔壁23c和阴极电极25的第一密封膜26；覆盖第一密封膜26的第二密封膜27；覆盖第二密封膜27的第三密封膜28；粘接层8；和上表面膜9。