[发明专利]用于基于热的质量流量控制器(MFCS)的增强流量检测可重复性的方法及设备

说明书

电子装置制造系统包括具有热流量传感器的质量流量控制器(MFC)。热流量传感器可测量质量流率并且可包括传感器管，所述传感器管具有涂覆有材料的内表面以形成内阻挡层。内阻挡层可防止或实质上减少在内表面上发生腐蚀性反应的可能性，此可防止或减少MFC漂移超出MFC的质量流率准确性规格的可能性。此可改善由MFC进行的流量检测的可重复性。亦提供了在电子装置制造系统中测量和控制质量流率的方法，其他方面也是如此。

相关申请

本申请案主张于2016年12月31日所提交的标题为“METHODS AND APPARATUS FORENHANCED FLOW DETECTION REPEATABILITY OF THERMAL-BASED MASS FLOW CONTROLLERS(MFCS)”的美国正式专利申请案第15/396,619号的优先权(代理人案卷第24591/USA号)，出于各种目的通过引用方式将所述美国正式专利申请案的全部内容并入本文。

技术领域

本公开涉及电子装置制造，并且更具体地涉及其中所使用的质量流量控制器。

背景技术

电子装置制造系统可包括一或多个质量流量控制器(MFC)。MFC测量和控制用于制造电子装置的处理气体的质量流率。处理气体可包括可输送到一或多个处理腔室的(例如)清洁气体、沉积气体及蚀刻剂气体，以及其他气体，在所述处理腔室中可在半导体晶片、玻璃板或类似的基板上制造电子电路。在一些电子装置制造系统中，为了产生具有(例如)微观小尺寸的电子装置，可能需要精确地以高达(例如)+/-1％的质量流率准确度来输送处理气体。尽管一些质量流量控制器(MFC)可以能够初始地提供如此高的质量流率准确度以及其他准确度容差(tolerance)，但随着时间，一些MFC可能经历“漂移”或偏移它们所指定的质量流率准确度，此可能超过它们所指定的容差。此可能对正在制造的电子装置的生产造成不利影响。因此，需要改进的MFC。

发明内容

根据第一方面，提供了一种质量流量控制器。质量流量控制器包括入口端口、出口端口、热流量传感器、流率控制阀及控制器。热流量传感器经配置以测量流过质量流量控制器的气体的质量流率。热流量传感器具有传感器管，及传感器管具有耦接到入口端口的输入端。传感器管亦具有输出端、内表面及外表面。内表面涂覆有材料以形成内阻挡层。流率控制阀耦接在传感器管的输出端与出口端口之间。流率控制阀经配置以增加或减少流过质量流量控制器的气体的质量流率。控制器经配置以接收来自热流量传感器的传感器信息及操作流率控制阀。

根据第二方面，提供了一种电子装置制造系统。电子装置制造系统包括处理腔室、气体输送系统及系统控制器。处理腔室具有基板支撑件，及气体输送系统包括气体供应和质量流量控制器。质量流量控制器包括具有传感器管的热流量传感器。传感器管具有输入端、输出端、内表面及外表面。内表面涂覆有材料以形成内阻挡层。系统控制器经配置以操作处理腔室和气体输送系统。

根据第三方面，提供了一种在电子装置制造系统中测量和控制质量流率的方法。所述方法包括提供包括具有传感器管的热流量传感器的质量流量控制器。传感器管具有输入端、输出端、内表面及外表面。内表面涂覆有材料以形成内阻挡层。所述方法亦包括经由热流量传感器来测量质量流率，及回应于测量而经由质量流量控制器根据需要来调整质量流率。

根据以下的详细描述、所附权利要求书及附图，根据本公开的这些和其他实施方式的其他方面、特征及优点可以是显而易见的。因此，将本案的附图和描述在本质上认为是说明性的，而不是限制性的。

附图说明

下面所描述的附图仅用于说明目的，并不一定按比例绘制。附图并不意图以任何方式限制本公开的范围。

图1示出了根据本公开的实施方式的电子装置制造系统。

图2示出了根据本公开的实施方式的电子装置制造系统的质量流量控制器。