[发明专利]用于基于热的质量流量控制器(MFCS)的增强流量检测可重复性的方法及设备

权利要求书

1.一种质量流量控制器，包括：

入口端口；

出口端口；

热流量传感器，所述热流量传感器经配置以测量流过所述质量流量控制器的气体的质量流率，所述热流量传感器具有传感器管，所述传感器管具有耦接到所述入口端口的输入端，所述传感器管亦具有输出端、内表面及外表面，所述内表面涂覆有材料以形成内阻挡层；

流率控制阀，所述流率控制阀耦接在所述传感器管的所述输出端与所述出口端口之间，所述流率控制阀经配置以增加或减少流过所述质量流量控制器的所述气体的所述质量流率；及

控制器，所述控制器经配置以接收来自所述热流量传感器的传感器信息及操作所述流率控制阀。

2.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述传感器管的所述外表面涂覆有所述材料以形成外阻挡层。

3.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述材料包括氧化铝或五氧化二钽。

4.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述内阻挡层具有约50nm到150nm的厚度。

5.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述传感器管具有约1.3mm到1.7mm的内径。

6.如权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述传感器管包括不锈钢或镍-铬-钼合金。

7.如权利要求1所述的质量流量控制器，所述质量流量控制器进一步包括旁路流径，所述旁路流径耦接在所述入口端口与所述流率控制阀之间，所述旁路流径并联耦接到所述热流量传感器。

8.一种电子装置制造系统，包括：

处理腔室，所述处理腔室具有基板支撑件；

气体输送系统，所述气体输送系统包括气体供应和质量流量控制器，所述质量流量控制器包括具有传感器管的热流量传感器，所述传感器管具有输入端、输出端、内表面及外表面，所述内表面涂覆有材料以形成内阻挡层；及

系统控制器，所述系统控制器经配置以操作所述处理腔室和所述气体输送系统。

9.如权利要求8所述的电子装置制造系统，其中所述传感器管的所述外表面涂覆有所述材料以形成外阻挡层。

10.如权利要求8所述的电子装置制造系统，其中所述材料包括氧化铝或五氧化二钽，并且经由原子层沉积来施加所述材料。

11.如权利要求8所述的电子装置制造系统，其中所述内阻挡层包括单一层，并且具有约50nm到150nm的厚度。

12.一种在电子装置制造系统中测量和控制质量流率的方法，所述方法包括以下步骤：

提供质量流量控制器，所述质量流量控制器包括具有传感器管的热流量传感器，所述传感器管具有输入端、输出端、内表面及外表面，所述内表面涂覆有材料以形成内阻挡层；

经由所述热流量传感器来测量质量流率；及

响应于所述测量，经由所述质量流量控制器根据需要来调整所述质量流率。

13.如权利要求12所述的方法，其中所述提供的步骤包括以下步骤：经由原子层沉积来施加所述材料到所述内表面。

14.如权利要求12所述的方法，其中所述提供的步骤进一步包括以下步骤：提供涂覆有所述材料的所述外表面以形成外阻挡层。

15.如权利要求12所述的方法，其中所述材料包括氧化铝或五氧化二钽。