[发明专利]异物除去装置和异物除去方法

说明书

本发明提供一种即使是薄膜状的片状体也能够稳定地除去异物的异物除去装置。异物除去装置包括具有喷出缝(112)的清洁头(10)，将从喷出缝(112)以规定的动作流速喷出的流体喷向片状体(W)的表面而从该片状体(W)的表面除去异物，该异物除去装置构成为具有：头部设置机构(20、30a、30b)，其在来自喷出缝(112)的流体的流速比所述动作流速小的状态下，将清洁头(10)设置在规定的动作位置处；以及旋转机构(21)，其在清洁头(10)被设置在所述动作位置后，在从喷出缝(112)使流体以所述动作流速喷出的状态下，维持清洁头(10)与片状体(W)的表面相对的状态，并同时使清洁头(10)与片状体(W)相对旋转。

技术领域

本发明涉及向一片片的单独的薄膜、片材或板等一片的片状体的表面喷射空气等流体而从该片状体的表面除去异物的异物除去装置和异物除去方法。

背景技术

以往，已知有专利文献1所记载的除尘装置(异物除去装置)。该除尘装置具有图1A所示的结构的清洁头10(除尘头)。在该清洁头10上设有第1空气吸引室12、空气喷出室11和第2空气吸引室13，第1空气吸引室12和第2空气吸引室13以夹着空气喷出室11的方式形成为一列。第1空气吸引室12和第2空气吸引室13分别通过连通孔121、131与未图示的吸气泵连接。通过该吸气泵对于第1空气吸引室12和第2空气吸引室13的吸气作用，第1空气吸引室12和第2空气吸引室13内被减压。另外，空气喷出室11通过连通孔111与未图示的空气泵(正压泵)连接。通过该空气泵向空气喷出室11的空气送入作用，空气喷出室11内被加压。

一并参照图1A和图1B，在清洁头10中，在空气喷出室11部分形成有规定长度的喷出缝112，在第1空气吸引室121和第2空气吸引室13的各自的部分以与喷出缝112平行的方式形成有规定长度的吸引缝122、132。通过上述空气泵对空气喷出室11内的加压而从喷出缝112喷出空气，通过上述吸气泵对第1空气吸引室12和第2空气吸引室13内的减压而使得空气通过吸引缝122、132被导入第1吸气室12和第2吸气室13。形成于第1空气吸引室12和第2空气吸引室13的各自的部分的吸引缝122、132的流路形成为朝向外侧向喷出缝112侧倾斜。由此，从喷出缝112喷出的气流容易被导入两侧的吸引缝122、132。另外，吸引缝122、132的流路也可以不如上所述地倾斜，而是与喷出缝112的流路同样地垂直形成。

在该异物除去装置中，作为异物除去对象的、一片片的单独的玻璃基板W的一片(片状体)被载置在搬送工作台15上，通过搬送工作台15向规定方向D的移动，一片玻璃基板W向该方向D移动。上述那样的结构的清洁头10以如下方式配置在搬送工作台15的上方：在与玻璃基板W之间形成规定的间隙，并且喷出缝112和两个吸引缝122、132与搬送工作台15对置(参照图1A)。另外，清洁头10以如下的方式配置：喷出缝112和两个吸引缝122、132与输送工作台15的移动方向D(玻璃基板W的搬送方向)垂直，并且第1空气吸引室12位于比第2空气吸引室13靠搬送方向D的上游侧的位置处(参照图1B)。

在清洁头10中，通过上述空气泵和上述吸气泵的动作，在从空气喷出室11的喷出缝112喷出空气且通过两个吸气缝122和132向空气吸引室12、13吸入空气的状态下，搬送工作台15向方向D移动。载置在移动的搬送工作台15上的玻璃基板W(片状体)在通过清洁头10的下方时，会由于从喷出缝112喷出的空气将玻璃基板W的表面的异物(尘埃、灰尘等)卷起，该卷起的异物由于通过吸气缝122、132的空气的导入而被吸入到空气吸引室12、13中(参照图1A)。由此，玻璃基板W的表面的异物被除去，其表面被清洁。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-296809号公报

发明内容

发明所要解决的课题