[发明专利]异物除去装置和异物除去方法

权利要求书

1.一种异物除去装置，其包括具有喷出气体的规定长度的喷出缝和规定长度的吸引缝的清洁头，在使该清洁头与薄膜状或者片状的片状体相对移动的同时，在通过所述吸引缝吸引气体的状态下将从所述喷出缝以规定的动作流速喷出的气体喷向所述片状体的表面而从该片状体的表面除去异物，

该异物除去装置具有：

头部设置机构，其在从所述喷出缝喷出的气体的流速比所述动作流速小的状态下，将所述清洁头设置在与所述片状体的表面相对的规定的动作位置处；以及

旋转机构，其在所述清洁头被设置在所述动作位置后，在从所述喷出缝以所述动作流速喷出气体并且通过所述吸引缝吸引气体的状态下，维持使所述清洁头与所述片状体的表面相对的状态，同时使所述清洁头与所述片状体相对旋转。

2.根据权利要求1所述的异物除去装置，其中，

在所述头部设置机构将所述清洁头设置在所述动作位置时，从所述喷出缝喷出的气体的流速被设定为零。

3.根据权利要求1所述的异物除去装置，其中，

所述头部设置机构在所述喷出缝从其一端依次横切所述片状体的边缘线而进入该片状体的方向上使所述清洁头相对于所述片状体移动而设置在所述动作位置处。

4.一种异物除去装置，其包括具有喷出气体的规定长度的喷出缝和规定长度的吸引缝的清洁头，在使该清洁头与薄膜状或者片状的片状体相对移动的同时，在通过所述吸引缝吸引气体的状态下将从所述喷出缝以规定的动作流速喷出的气体喷向所述片状体的表面而从该片状体的表面除去异物，

该异物除去装置具有：

头部设置机构，其在从所述喷出缝以所述动作流速喷出气体的状态下，在所述喷出缝从其一端依次横切所述片状体的边缘线而进入该片状体的方向上使所述清洁头相对于所述片状体移动而设置在与该片状体的表面相对的规定的动作位置处；以及

旋转机构，其在所述清洁头被设置在所述动作位置后，维持从所述喷出缝以所述动作流速喷出气体并且通过所述吸引缝吸引气体的状态，同时使所述清洁头与所述片状体相对旋转。

5.根据权利要求4所述的异物除去装置，其中，

所述头部设置机构在所述喷出缝从其一端依次沿直角横切所述片状体的边缘线而进入该片状体的方向上使所述清洁头移动。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的异物除去装置，其中，

所述旋转机构具有使所述片状体相对于静止的所述清洁头旋转的片状体旋转机构。

7.一种异物除去方法，在使具有喷出气体的规定长度的喷出缝和规定长度的吸引缝的清洁头与薄膜状或者片状的片状体相对移动的同时，在通过所述吸引缝吸引气体的状态下将从所述喷出缝以规定的动作流速喷出的气体喷向所述片状体的表面而从该片状体的表面除去异物，

该异物除去方法具有：

头部设置步骤，在从所述喷出缝喷出的气体的流速比所述动作流速小的状态下，将所述清洁头设置在与所述片状体的表面相对的规定的动作位置处；以及

旋转步骤，在所述清洁头被设置在所述动作位置后，在从所述喷出缝以所述动作流速喷出气体并且通过所述吸引缝吸引气体的状态下，维持使所述清洁头与所述片状体的表面面对的状态，同时使所述清洁头与所述片状体相对旋转。

8.根据权利要求7所述的异物除去方法，其中，

在所述头部设置步骤中所述清洁头被设置在所述动作位置时，从所述喷出缝喷出的气体的流速被设定为零。