[发明专利]波形分析装置、及波形分析方法

权利要求书

1.一种波形分析装置，该波形分析装置检测在机械装置的动作时产生的物理的现象，分析已检测到的信号的波形，其特征在于，在不好状况的机械装置的动作中产生的物理的现象的波形中，存在以较短的时间而发生，并且在宽范围的频带中包括一定的振幅的脉冲波形，

该波形分析装置包括：

信号分析部，该信号分析部对从检测上述物理的现象的传感器而发送的上述信号进行高速傅里叶变换处理；

脉冲抽取部，上述高速傅里叶变换横跨脉冲成分宽的频带，生成宽分散的频谱数据，该脉冲抽取部计算具有作业人员所指定的宽度的频带中的脉冲成分的总量，得到上述频带每个中的脉冲强度；

显示部，该显示部显示上述频带中的上述脉冲强度。

2.根据权利要求1所述的波形分析装置，其特征在于，上述传感器为振动传感器，该振动传感器检测在上述机械装置动作时产生的振动。

3.根据权利要求1所述的波形分析装置，其特征在于，上述传感器为麦克风，其检测在上述机械装置动作时产生的动作声音。

4.根据权利要求1～3中的任何一项所述的波形分析装置，其特征在于，上述机械装置为保持而运送半导体晶片的运送机器人。

5.一种半导体制造系统，其特征在于，该半导体制造系统包括权利要求1～4中的任何一项所述的波形分析装置。

6.一种波形分析方法，其特征在于，在检测在机械装置的动作时产生的物理的现象，分析已检测到的信号的波形的波形分析装置中，在不好状况的机械装置的动作中产生的物理的现象的波形中，存在以较短的时间而发生，并且在宽范围的频带中包括一定的振幅的脉冲波形，

该方法包括：

信号分析步骤，在该步骤中，对从检测上述物理的现象的传感器而发送的上述信号进行高速傅里叶变换处理；

脉冲抽取步骤，在该步骤中，上述高速傅里叶变换横跨脉冲成分宽的频带，生成宽分散的频谱数据，计算具有作业人员所指定的宽度的频带中的脉冲成分的总量，得到上述频带每个中的脉冲强度；

显示步骤，在该步骤中，显示上述频带中的上述脉冲强度。