[发明专利]玻璃板的检查方法及其制造方法以及玻璃板的检查装置有效
| 申请号: | 201780075075.8 | 申请日: | 2017-12-13 |
| 公开(公告)号: | CN110036281B | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
| 发明(设计)人: | 久良木正福;山本浩一;山本正善;南友和;吉野敬一;藤居孝英 | 申请(专利权)人: | 日本电气硝子株式会社 |
| 主分类号: | G01N21/896 | 分类号: | G01N21/896;G01B11/24 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 刘影娜 |
| 地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 玻璃板 检查 方法 及其 制造 以及 装置 | ||
1.一种玻璃板的检查方法,其特征在于,
配置第一摄像系统和第二摄像系统,
所述第一摄像系统具有:
第一光源;
第一摄像部,其对从所述第一光源照射且透过了所述玻璃板的第一透射光进行拍摄;以及
遮挡构件,其遮挡所述第一透射光的一部分而在所述第一摄像部的视场内形成亮部与暗部,
所述第二摄像系统具有:
第二光源及第三光源;以及
第二摄像部,其以亮视场拍摄从所述第二光源照射且透过了所述玻璃板的第二透射光,同时以暗视场拍摄从所述第三光源照射且透过了所述玻璃板的第三透射光,
在所述玻璃板的检查方法中,基于由所述第一摄像系统得到的像和由所述第二摄像系统得到的像来识别所述玻璃板的缺陷种类。
2.根据权利要求1所述的玻璃板的检查方法,其特征在于,
将所述第一光源、所述第二光源及所述第三光源设为一个光源单元,
利用分束器,将从所述光源单元照射且透过了所述玻璃板的透射光分离为包含所述第一透射光的第一成分和包含所述第二透射光及所述第三透射光的第二成分这两个成分,
利用所述第一摄像部隔着所述遮挡构件来拍摄所述第一成分,利用所述第二摄像部来拍摄所述第二成分。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃板的检查方法,其特征在于,
基于由所述第一摄像系统得到的像的有无以及由所述第二摄像系统得到的像的有无,来识别所述玻璃板中的异物缺陷。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃板的检查方法,其特征在于,
基于由所述第一摄像系统得到的像的面积以及由所述第二摄像系统得到的像的面积,来识别所述玻璃板中的异物缺陷与气泡缺陷。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的玻璃板的检查方法,其特征在于,
基于由所述第二摄像系统得到的像的颜色,来识别所述玻璃板中的气泡缺陷与附着于所述玻璃板的表面的尘埃。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的玻璃板的检查方法,其特征在于,
基于由所述第二摄像系统得到的像的第一方向上的尺寸、以及由所述第二摄像系统得到的像的第二方向上的尺寸,来识别所述玻璃板中的气泡缺陷与附着于所述玻璃板的表面的尘埃,所述第一方向沿着所述玻璃板的延伸方向,所述第二方向与所述第一方向正交。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的玻璃板的检查方法,其特征在于,
基于由所述第二摄像系统得到的像的面积以及由所述第二摄像系统得到的像所内接的矩形的面积,来识别所述玻璃板中的气泡缺陷与附着于所述玻璃板的表面的尘埃,所述矩形由与沿着所述玻璃板的延伸方向的第一方向平行的边以及与正交于所述第一方向的第二方向平行的边构成。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的玻璃板的检查方法,其特征在于,
基于由所述第二摄像系统得到的像的相对于对称轴的对称性,来识别所述玻璃板中的气泡缺陷与附着于所述玻璃板的表面的尘埃,所述对称轴与沿着所述玻璃板的延伸方向的第一方向平行。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的玻璃板的检查方法,其特征在于,
基于由所述第二摄像系统得到的像的相对于第一方向的倾斜度,来识别所述玻璃板中的气泡缺陷与附着于所述玻璃板的表面的尘埃,所述第一方向沿着所述玻璃板的延伸方向。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的玻璃板的检查方法,其特征在于,
利用所述第二摄像系统对所述玻璃板的端边进行拍摄,检查所述端边有无形状不良。
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