[发明专利]借助角度选择的照射确定样本对象的布置

说明书

本发明涉及一种用于确定样本对象(1031)在光学设备(100)中的布置的方法，包括：从至少一个第一照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)和从至少一个第二照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)。所述方法也包括：执行在指示在从所述至少一个第一照射方向(1051，1052)进行照射的情况下所述样本对象(1031)的图像的至少一个部段的数据与在从所述至少一个第二照射方向(1051，1052)进行照射的情况下所述样本对象(1031)的图像的至少一个部段的数据之间的相关。该方法也包括：基于所述相关确定所述样本对象(1031)相对于所述光学设备的焦点平面(1035)的布置。

技术领域

本发明的不同的实例大体上涉及用于通过从不同的照射方向对样本对象照射来确定样本对象在光学设备中的布置的技术。本发明的不同的实例尤其涉及借助执行在数据之间的校正来确定布置，所述数据对应于不同的照射方向。

背景技术

在DE 10 2014 109 687 A1中公开了如下技术来从不同的照射方向照射样本对象(角度选择的照射或结构化的照射)。这样获得的图像接着可以被数字处理或者分析。由此，可以获得附加的信息，例如样本对象距相应的光学设备的焦点平面的距离。

已观察到，传统的用于在角度选择的照射情况下进行数字再处理的技术在特定的情况下只能具有有限的精度。例如，会出现，在距光学设备的焦点平面比较远地设置样本对象的情况下，数字再处理只能以很大的不精确性执行。

发明内容

因此，需要改进的技术来在角度选择的照射的情况下进行数字再处理。尤其是，存在对如下技术的需求：消除上述的缺点和局限性中的至少一些。

该任务根据独立权利要求的特征来解决。从属权利要求的特征限定了实施形式。

在一个实例中，用于确定样本对象在光学设备中的布置的方法包括：从至少一个第一照射方向照射样本对象，并且从至少一个第二照射方向照射样本对象。该方法也包括：执行在指示在从至少一个第一照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据与指示在从至少一个第二照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据之间的相关。该方法也包括：基于所述相关确定所述样本对象相对于光学设备的焦点平面的布置。

在另一实例中，计算机程序产品包括程序代码，所述程序代码可以由至少一个计算单元执行。程序代码的执行实现了，至少一个计算单元执行用于确定样本对象在光学设备中的布置的方法。该方法包括：从至少一个第一照射方向照射样本对象和从至少一个第二照射方向照射样本对象。该方法也包括：执行在指示在从至少一个第一照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据与指示在从至少一个第二照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据之间的相关。该方法也包括：基于所述相关确定所述样本对象相对于光学设备的焦点平面的布置。

在另一实例中，计算机程序产品包括程序代码，所述程序代码可以由至少一个计算单元执行。程序代码的执行实现了，至少一个计算单元执行用于确定样本对象在光学设备中的布置的方法。该方法包括：从至少一个第一照射方向照射样本对象和从至少一个第二照射方向照射样本对象。该方法也包括：执行在指示在从至少一个第一照射方向进行照射的情况下样本对象的图像的至少一个部段的数据与指示在从至少一个第二照射方向进行照射的情况下样本对象的的图像的至少一个部段的数据之间的相关。该方法也包括：基于所述相关确定所述样本对象相对于光学设备的焦点平面的布置。