[发明专利]借助角度选择的照射确定样本对象的布置

权利要求书

1.一种用于确定样本对象(1031)在光学设备(100)中的布置的方法，所述方法包括：

-从至少一个第一照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)，

-从至少一个第二照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)，

-执行在指示在从所述至少一个第一照射方向(1051，1052)进行照射的情况下所述样本对象(1031)的图像(111，112，113)的至少一个部段的数据(111，112，120，121，122)与指示在从所述至少一个第二照射方向(1051，1052)进行照射的情况下所述样本对象(1031)的图像(111，112，113)的至少一个部段的数据(111，112，120，121，122)之间的相关(199)，以及

-基于所述相关(199)确定所述样本对象(1031)相对于所述光学设备(100)的焦点平面(1035)的布置，

其中基于所述相关并且基于与所述至少一个第一照射方向相关联的第一角度和与所述至少一个第二照射方向相关联的第二角度来计算样本对象相对于光学设备的焦点平面的布置。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在时域中并行地执行从所述至少一个第一照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)和从所述至少一个第二照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)，

其中，所述相关(199)是数据(111，112，120，121，122)的自相关，所述数据指示在从所述第一照射方向(1051，1052)和所述第二照射方向(1051，1052)共同照射的情况下样本对象(1031)的图像(113)的至少一个部段。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，在时域中顺序地执行从所述至少一个第一照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)和从所述至少一个第二照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)，

其中所述相关(199)是在指示在从所述第一照射方向(1051，1052)进行照射的情况下所述样本对象(1031)的第一图像(111，112)的至少一个部段的第一数据(111，112，120，121，122)与指示在从所述第二照射方向(1051，1052)进行照射的情况下所述样本对象(1031)的第二图像(111，112)的至少一个部段的第二数据(111，112，120，121，122)之间的互相关。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，在时域中并行地利用多个第一照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)，其中所述多个第一照射方向(1051，1052)按第一图案(1042，1042-1，1042-2)设置，并且包括所述第一照射方向(1051，1052)，

其中，在时域中并行地利用多个第二照射方向(1051，1052)照射所述样本对象(1031)，其中所述多个第二照射方向(1051，1052)按第二图案(1042，1042-1，1042-2)设置，并且包括所述第二照射方向(1051，1052)，

其中，所述第一图案(1042，1042-1，1042-2)能够通过平移(2041)成像到所述第二图案(1042，1042-1，1042-2)。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述第一图案(1042，1042-1，1042-2)具有垂直于所述平移的方向的范围(1045A)，所述范围为所述第一图案(1042，1042-1，1042-2)平行于所述平移(2041)的方向的范围(1046A)至少两倍。

6.根据权利要求4所述的方法，所述方法进一步包括：

-基于对应的图像(111，112，113)沿着垂直于所述平移(2041)的横向方向(1045，1046)的像素(115)的组合，确定指示对应的图像(111，112，113)的至少一个部段的相应的数据(111，112，120，121，122)。