[发明专利]光检测器

说明书

本发明的光检测器包括：基板和膜体，该膜体以与基板的表面之间形成空隙的方式被支承于基板的表面上，膜体包括：隔着沿包括曲线部的线延伸的间隙彼此相对的第1配线层和第2配线层；和具有依赖于温度的电阻的电阻层，电阻层分别与第1配线层和第2配线层电连接，第1配线层的线侧的第1边缘部和第2配线层的线侧的第2边缘部分别连续地延伸。

技术领域

本发明的一个方面涉及一种光检测器。

背景技术

作为光检测器，已知包括基板和以与基板的表面之间形成空隙的方式支承在基板的表面上的膜体，膜体包括隔着间隙彼此相对的一对配线层、和具有依赖于温度的电阻的电阻层(例如参照专利文献1)。在专利文献1中记载的红外线传感器中，对应于一对配线层的一对电极间的间隙以矩形波状延伸。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2003-106896号公报

发明内容

发明要解决的课题

由于专利文献1所记载的红外线传感器中，一对电极间的间隙以矩形波状延伸，因此与该间隙以直线状延伸的情形相比，能够提高灵敏度(感度)。然而，专利文献1所记载的红外线传感器中，若为了提高响应速度而减小膜体的厚度，则因膜体的变形而易于在矩形波状延伸的间隙的角部产生应力集中，存在作为传感器的特性劣化的可能性。

因此，本发明的一个方面的目的在于提供一种能够谋求灵敏度和响应速度提高的光检测器。

解决课题的技术手段

本发明一个方式的光检测器，包括：基板；和膜体，其以与基板的表面之间形成空隙的方式被支承于基板的表面上，膜体包括：隔着沿包括曲线部的线延伸的间隙彼此相对的第1配线层和第2配线层；和具有依赖于温度的电阻的电阻层，电阻层分别与第1配线层和第2配线层电连接，第1配线层的线侧的第1边缘部和第2配线层的线侧的第2边缘部分别连续地延伸。

在该光检测器中，第1配线层与第2配线层之间的间隙沿着包含曲线部的线延伸。由此，与该间隙直线状地延伸的情形相比，灵敏度提高。另外，第1配线层的线侧的第1边缘部和第2配线层的线侧的第2边缘部分别连续延伸。由此，即使为了提高响应速度而减小膜体的厚度，仍能够抑制在第1边缘部和第2边缘部因膜体的变形而产生应力集中。由此，根据该光检测器，能够谋求灵敏度和响应速度的提高。

在本发明的一个方式的光检测器中，线也能够具有包含曲线部的蜿蜒部。根据该构成，能够增长间隙的长度，谋求灵敏度的进一步提高。

在本发明的一个方式的光检测器中，也能够蜿蜒部包括：以大于规定量的第1偏离量向一侧偏离的第1区间；和以小于规定量的第2偏离量向一侧偏离的第2区间，在膜体形成有位于第2区间的一侧的贯通孔。根据该构成，可防止贯通孔在间隙中贯通膜体，并且使贯通孔的位置靠近膜体的中央部。因此，在光检测器的制造步骤中，通过经由贯通孔实施蚀刻，能够效率良好地形成膜体。

在本发明的一个方式的光检测器中，也能够第2区间夹在2个第1区间之间，贯通孔位于2个第1区间之间。根据该构成，能够防止贯通孔在间隙中贯通膜体，并且使贯通孔的位置靠近膜体的中央部。因此，在光检测器的制造步骤中，通过经由贯通孔实施蚀刻，能够效率良好地形成膜体。