[发明专利]光检测器

权利要求书

1.一种光检测器，其特征在于，包括：

基板；

膜体，其具有受光部；和

一对电极插头，其配置于所述基板的表面上，以在所述基板的所述表面和所述膜体之间形成空隙的方式在所述基板的所述表面上支承所述膜体，

所述受光部在从所述基板的厚度方向观察时，以避开所述一对电极插头的方式扩展，

所述膜体包括：

在所述受光部中，隔着沿包括曲线部的线延伸的间隙彼此相对的第1配线层和第2配线层；和

具有依赖于温度的电阻的电阻层，所述电阻层在所述受光部中，分别与所述第1配线层和所述第2配线层电连接，

所述第1配线层的所述线侧的第1边缘部和所述第2配线层的所述线侧的第2边缘部分别连续地延伸，

所述线在从所述基板的厚度方向观察时，以与连结所述膜体的相互相对的一对角部的直线正交的方向成为偏离的方向的方式蜿蜒状地延伸。

2.如权利要求1所述的光检测器，其特征在于：

所述线具有包括所述曲线部的蜿蜒部。

3.如权利要求2所述的光检测器，其特征在于：

所述蜿蜒部包括：以大于规定量的第1偏离量向一侧偏离的第1区间；和以小于所述规定量的第2偏离量向所述一侧偏离的第2区间，在所述膜体形成有位于所述第2区间的所述一侧的贯通孔。

4.如权利要求3所述的光检测器，其特征在于：

所述第2区间夹在2个所述第1区间之间，

所述贯通孔位于2个所述第1区间之间。

5.如权利要求1～4中任一项所述的光检测器，其特征在于：

所述膜体还包括：

与所述基板的所述表面相对的光吸收层；和

配置于所述第1配线层和所述第2配线层各自与所述光吸收层之间的隔离层，

所述光吸收层包括：

第1区域，其在从所述基板的厚度方向观察时，在所述第1配线层的与所述第2配线层相反一侧扩展；和

第2区域，其在从所述基板的厚度方向观察时，在所述第2配线层的与所述第1配线层相反一侧扩展。

6.如权利要求5所述的光检测器，其特征在于：

所述第1配线层的与所述线相反一侧的第3边缘部、和所述第2配线层的与所述线相反一侧的第4边缘部连续地延伸。

7.如权利要求5所述的光检测器，其特征在于：

还包括配置于所述基板的所述表面的光反射层，所述光反射层与所述光吸收层构成光谐振构造。

8.如权利要求6所述的光检测器，其特征在于：

还包括配置于所述基板的所述表面的光反射层，所述光反射层与所述光吸收层构成光谐振构造。

9.如权利要求5所述的光检测器，其特征在于：

在从所述基板的厚度方向观察时，所述第1配线层与所述第2配线层的面积之和小于所述第1区域与所述第2区域的面积之和。

10.如权利要求6所述的光检测器，其特征在于：

在从所述基板的厚度方向观察时，所述第1配线层与所述第2配线层的面积之和小于所述第1区域与所述第2区域的面积之和。

11.如权利要求7所述的光检测器，其特征在于：

在从所述基板的厚度方向观察时，所述第1配线层与所述第2配线层的面积之和小于所述第1区域与所述第2区域的面积之和。

12.如权利要求8所述的光检测器，其特征在于：

在从所述基板的厚度方向观察时，所述第1配线层与所述第2配线层的面积之和小于所述第1区域与所述第2区域的面积之和。

13.如权利要求5所述的光检测器，其特征在于：

在从所述基板的厚度方向观察时，所述第1配线层与所述第2配线层的面积之和小于所述第1区域和所述第2区域各自的面积。