[发明专利]离子束设备

权利要求书

1.一种离子束设备，包括：

台板，对衬底进行保持；

衬底平面结构，设置在所述台板的周围，所述衬底平面结构中具有开口；以及

可拆卸的结构，设置在所述衬底平面结构的所述开口中，所述可拆卸的结构具有暴露出所述台板的表面的开口，

其中所述可拆卸的结构具有与所述衬底平面结构的前表面对齐的外部表面，且所述衬底平面结构的所述前表面与所述衬底的前表面形成共用平面表面，

其中使用一个或多个可拆卸的止动元件将所述可拆卸的结构以可拆卸的方式固定到所述衬底平面结构的背面。

2.根据权利要求1所述的离子束设备，其中所述可拆卸的结构包括与所述衬底平面结构的背面接触的凸缘。

3.根据权利要求2所述的离子束设备，其中所述凸缘包括与所述衬底平面结构的所述背面中的一个或多个孔对齐的一个或多个贯穿孔，至少一个可拆卸的止动元件设置在所述一个或多个贯穿孔及所述衬底平面结构的所述背面中的所述一个或多个孔中，以将所述可拆卸的结构以可拆卸的方式固定到所述衬底平面结构。

4.根据权利要求1所述的离子束设备，其中所述可拆卸的结构是可拆卸的环结构。

5.一种离子束设备，包括：

台板，对衬底进行保持；

衬底平面结构，设置在所述台板的周围，所述衬底平面结构中具有开口；以及

可拆卸的环结构，设置在所述衬底平面结构的所述开口中，所述可拆卸的环结构具有暴露出所述台板的表面的开口，

其中所述可拆卸的结构具有与所述衬底平面结构的前表面对齐的外部表面，且所述衬底平面结构的所述前表面与所述衬底的前表面形成共用平面表面，

其中使用一个或多个可拆卸的止动元件将所述可拆卸的环结构以可拆卸的方式固定到所述衬底平面结构的背面。

6.根据权利要求5所述的离子束设备，其中所述可拆卸的环结构具有内侧边缘表面及外侧边缘表面，所述内侧边缘表面具有比所述台板的圆周大的圆周。

7.根据权利要求5所述的离子束设备，其中所述可拆卸的环结构还包括形成在所述可拆卸的环结构的圆周的至少一部分中的凹槽。

8.一种离子束设备，包括：

台板；

衬底，耦合到所述台板；

衬底平面结构，设置在所述台板的周围且所述衬底平面结构中具有开口；以及

可拆卸的环结构，设置在所述衬底平面结构的所述开口中，所述可拆卸的环结构具有开口，所述衬底设置在所述可拆卸的环结构的所述开口中，

其中所述可拆卸的结构具有与所述衬底平面结构的前表面对齐的外部表面，且所述衬底平面结构的所述前表面与所述衬底的前表面形成共用平面表面，

其中使用一个或多个可拆卸的止动元件将所述可拆卸的环结构以可拆卸的方式固定到所述衬底平面结构的背面。

9.根据权利要求8所述的离子束设备，其中所述可拆卸的环结构具有内侧边缘表面及外侧边缘表面，所述内侧边缘表面具有比所述台板的圆周大的圆周。

10.根据权利要求8所述的离子束设备，其中所述可拆卸的环结构包括与所述衬底平面结构的背面接触的凸缘。

11.根据权利要求10所述的离子束设备，其中所述凸缘包括与所述衬底平面结构的所述背面中的一个或多个孔对齐的一个或多个贯穿孔，至少一个可拆卸的止动元件设置在所述一个或多个贯穿孔及所述衬底平面结构的所述背面中的所述一个或多个孔中，以将所述可拆卸的环结构以可拆卸的方式固定到所述衬底平面结构。

12.根据权利要求8所述的离子束设备，还包括耦合到所述可拆卸的环结构的电压源，所述电压源对所述可拆卸的环结构施加电压。