[发明专利]在金刚石的表面形成精细周期性结构的槽的方法有效

专利信息
申请号: 201780066874.9 申请日: 2017-09-01
公开(公告)号: CN109890555B 公开(公告)日: 2021-11-09
发明(设计)人: 城石亮蔵;高尾健一;汤浅义之 申请(专利权)人: 东洋制罐集团控股株式会社
主分类号: B23K26/364 分类号: B23K26/364;B21D37/01;B21D37/20;B23K26/00;B21D22/28;B21D51/26
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;张会华
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 金刚石 表面 形成 精细 周期性 结构 方法
【权利要求书】:

1.一种在金刚石膜的表面形成精细周期性结构的槽的方法,所述方法将通过CVD法形成的多晶结构的金刚石膜的表面抛光为平均表面粗糙度Ra为0.1μm以下,接着通过以利用光的干涉产生周期性强度分布的、脉冲宽度不小于1ns的激光束照射通过该抛光而平滑化后的平滑表面形成精细周期性结构的槽。

2.根据权利要求1所述的形成精细周期性结构的槽的方法,其特征在于,所述精细周期性结构的槽规则配置以表现结构色。

3.根据权利要求1所述的形成精细周期性结构的槽的方法,其特征在于,以注量不小于200mJ/cm2的所述激光束照射所述金刚石膜的表面。

4.根据权利要求1所述的形成精细周期性结构的槽的方法,其特征在于,所述激光束的波长短于1064nm。

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