[发明专利]用于优化图案化装置图案的方法

权利要求书

1.一种用于优化图案化装置图案的方法，所述方法包括：

获得具有多个多边形的初始设计图案；

使所述多边形中的至少一些多边形有效地彼此连接；

将评估特征放置在所述多边形的边界之外；以及

基于所述评估特征，创建跨越已连接的多边形的图案化装置图案。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括跨在所述已连接的多边形中的至少一些多边形生成引导轮廓，并且所述评估特征中的至少一些评估特征位于所述引导轮廓上。

3.根据权利要求2所述的方法，还包括：对照所述引导轮廓来评估中间图案化装置图案，并基于对照所述引导轮廓的所述评估来调节创建所述图案化装置图案的参数。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，基于包括边缘放置误差和图案放置误差的成本函数来创建所述图案化装置图案的图案化装置图案轮廓。

5.根据权利要求1所述的方法，还包括关于所述多边形应用图案放置量规，并且创建所述图案化装置图案是基于从所述图案放置量规确定的值。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述评估特征由在创建所述图案化装置图案中使用的容差范围来界定。

7.根据权利要求1所述的方法，还包括偏置所述多边形的大小，和/或

其中，被偏置的多边形中的至少一些多边形彼此连接。

8.根据权利要求1所述的方法，还包括：

形成用以连接多边形的桥；和/或

选择彼此紧密相邻的多边形以进行连接，和/或

其中，所述紧密相邻的多边形具有小于k1值0.28的间隔距离或节距。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，创建所述图案化装置图案包括用以产生优化照射模式和优化图案化装置图案的优化过程。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，创建所述图案化装置图案还包括：改变所述初始设计图案的设计意图，使得所述图案化装置图案实现所述初始设计图案的改变的设计意图。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，改变所述设计意图包括处理将设计意图作为设计变量并入的成本函数，和/或

其中，改变所述设计意图包括处理具有设计或制造规则作为其约束或惩罚项的成本函数，和/或其中，改变所述设计意图包括从以下项中选择的一项或多项：偏移所述设计图案的一个或多个特征的位置、偏置所述设计图案的一个或多个特征的大小、将所述设计图案的一个或多个特征分成两个或更多个部分、和/或将所述设计图案的两个或更多个特征连接在一起。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，创建所述图案化装置图案包括评估缩小和/或复原过程模型。

13.一种用于优化图案化装置图案的方法，所述方法包括：

获得具有多个多边形的初始设计图案；

使所述多边形中的至少一些多边形有效地彼此连接；

关于所述多边形放置评估特征；以及

生成跨越已连接的多边形中的至少一些多边形的引导轮廓，其中所述评估特征中的至少一些评估特征位于所述引导轮廓上。

14.一种用于优化图案化装置图案的方法，所述方法包括：

获得具有多个多边形的初始设计图案；

使所述多边形中的至少一些多边形有效地彼此连接；

关于已连接的多边形放置评估特征；以及

基于所述评估特征，跨所述已连接的多边形的连接点或交叉点来创建图案化装置图案轮廓。

15.一种计算机程序产品，包括其上记录有指令的计算机非暂时性可读介质，所述指令在由计算机执行时实现权利要求1所述的方法。