[发明专利]电机组件、光刻设备和器件制造方法

权利要求书

1.一种用于在驱动方向上驱动物体的电机组件，所述电机组件包括：

第一电磁组件和第二电磁组件，其中所述第二电磁组件包括被配置为与所述第一电磁组件协作以用于在所述驱动方向上生成第一驱动力的第一电磁子组件以及被配置为与所述第一电磁组件协作以用于在所述驱动方向上生成第二驱动力的第二电磁子组件；其中所述第一电磁子组件面向所述第一电磁组件的第一表面，从而限定所述第一电磁组件和所述第二电磁组件之间的在垂直于所述驱动方向的方向上的第一间隙；其中所述第二电磁子组件面向所述第一电磁组件的第二表面，从而限定所述第一电磁组件和所述第二电磁组件之间的在垂直于所述驱动方向的方向上的第二间隙；

第一接口，用于将所述第一电磁组件连接至公共构件或将被驱动的所述物体中的一个；

第二接口，用于将所述第二电磁组件连接至所述公共构件或将被驱动的所述物体中的另一个，所述第二接口包括至少一个刚性构件；

其中所述第一电磁组件、所述第一电磁子组件和所述第二电磁子组件在垂直于所述驱动方向的方向上堆叠，并且其中所述第二接口包括被配置为能够实现所述第一电磁子组件和所述第二电磁子组件之间的在垂直于所述驱动方向的方向上的相对位移的板簧和柔性连接器中的至少一个，其中所述板簧和所述柔性连接器中的至少一个与所述至少一个刚性构件一起使用以将所述第二电磁组件连接至所述公共构件或将被驱动的所述物体中的一个。

2.根据权利要求1所述的电机组件，其中所述电机组件包括用于在操作期间保持所述间隙的轴承。

3.根据权利要求1所述的电机组件，其中至少一个所述第一电磁组件通过一个或多个板簧连接至所述公共构件。

4.根据权利要求1、2或3所述的电机组件，其中至少一个所述第二电磁组件通过一个或多个板簧连接至所述物体。

5.根据权利要求1、2或3所述的电机组件，其中所述电机组件的所述第一电磁组件包括磁体组件，并且其中所述电机组件的所述第二电磁组件包括线圈组件。

6.根据权利要求5所述的电机组件，其中所述线圈组件包括在所述驱动方向上彼此相邻布置的线圈的阵列。

7.根据权利要求6所述的电机组件，其中所述磁体组件包括被配置为在所述驱动方向上生成空间可变磁场的永磁体的阵列。

8.根据权利要求7所述的电机组件，其中所述磁体组件包括其上安装所述永磁体的阵列的磁体支撑结构。

9.根据权利要求8所述的电机组件，其中所述磁体支撑结构具有开箱结构。

10.一种光刻设备，包括：

照射系统，被配置为调节辐射束；

支撑件，被构造为支撑图案化装置，所述图案化装置能够向所述辐射束在其截面中赋予图案以形成图案化辐射束；

衬底台，被构造为保持衬底；以及

投影系统，被配置为将所述图案化辐射束投影到所述衬底的目标部分上，

其中所述光刻设备进一步包括用于定位所述支撑件或所述衬底台的根据权利要求1至9中任一项所述的电机组件。

11.一种器件制造方法，所述方法包括使用根据权利要求10所述的光刻设备将图案化辐射束投影到衬底上。